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一厂设备科上半年工作总结(201) 一厂设备科上半年工作总结(201*) 一厂设备科201*年上半年工作总结 一、设备各项指标完成情况 1、设备故障时间统计 1200h1000h800h600h400h200h0h111月72月3月4月2801085月87.56月1080上海蓝光 2、设备主要故障原因一厂汇单位：h总外延芯片前段芯片后段动力能源上半年1572.5《外延组》：404481084.50.01.23MOCVD-I时间：1H原因：H2压力低下DOWN机3.31MOCVD-I时间：4h原因：设备漏水5.11M-k465时间：15.5h原因：反应室下端焊接处漏5.12M-k465时间：8.5h原因：反应室下端焊接处漏5.29MOCVD-N时间：2h原因：RT电脑异常，对其重新启动6.22烤炉D时间：5h原因：由于湿度过大导致跳电宕机《制备》：原因：3.4-5PECVD03时间：36h原因：加热控制器出错3.6-11PECVD03时间：132h原因：加热控制器出错3.14-16高温清洗机时间：22原因：上下轴移动告警3.21高温清洗剂时间：16h原因：石英提篮摔碎4.9ITO-03时间：17.5h原因：e-gun熄火4.10QX-03时间：13h原因：2#槽石英槽破裂4.17PG-04,05,06时间：14h原因：线条粗，粘版4.18PG-06时间：12h原因：线条粗细不均匀4.