管式炉操作规程.docVIP

PAGE PAGE 1 双温区真空管式炉操作规程 一、开机 1. 打开电源。 2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。 二炼气 1. 放置四个管堵，安装法兰。 2. 左右温区均以3oC/min升温至150 oC，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至-0.05 MPa时，分三个阶段完全打开（约3圈）针阀，至-0.1 MPa保持30min。 三、气体置换 1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至0.04MPa以下，打开气柜上进气阀Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针