led检测方案推荐.pptxVIP

1 会计学 LED检测方案推荐 2 3D测量激光显微镜的测量能力 接触式表面粗さ測定機 測定顕微鏡 白色干渉計 原子間力顕微鏡 10nm 100nm 1um 10um 100um 1mm 10mm 100mm 1nm 10nm 100nm 1um 10um 100um 1mm 10mm 100mm Ｚ　高度 ＸＹ　平面 　最大视野2.5mm、最大高度测量范围10mm 　0.1μm～300μm之间高度的测量是测量的极致范围 牛牛文库文档分享 3 3D测量激光显微镜的观察能力 牛牛文库文档分享 4 推荐理由 方案一 优势： 1、方案一总体资金投入小于方案二 2、激光共聚焦测量显微镜（OLS4000）高精度高自动化可解决高倍微分干涉显微镜分辨率不够，原子力显微镜高分辨率时不能高分辨率观察，台阶仪不能精确定位和测量显微镜测量光刻时精度不够的问题。从根本上解决以往一个检查项目需在多台设备上反复检查的问题，从而提高工作效率。并且由于只用一台设备，后期维护方便、维护成本低廉。 3、红外高倍观察显微镜（BX51IR）无辐射，可完成鉴定需要的同时保证安全性。 4、配套激光共聚焦测量显微镜后，实验室配套的电镜就只需能打成分就行，电镜购置成本可下降5-8万美元。 缺点： 1、红外高倍观察显微镜（BX51IR）分辨率低于X射线显微镜（X-RAY）。 牛牛文库文档分享 5 推荐理由 方案二 优点 1、传统实