可控硅镀膜设备技术方案 c.pdfVIP

可控硅镀膜设备技术方案 c 真空镀膜 中频感应加热技术方案 一、 需方要求 1、真空镀膜电源 二、 我厂提供的电源技术说明： 1、 电源选型KGPS—75KW/8000Hz 可控硅真空感应镀膜电源 2、 电源柜， 外型选用 GDD 柜体，长×厚×高=1400 ×1000×2000 电源柜 电源柜仪表为：直流电压表、直流电流表、中频电压表、功率表 1、功率表 2 、功率表 3 3、 电源主要技术指标： KGPS—75KW/8000Hz 真空熔化电源 输入电压：3 ×380V 输入电流：130 A 额定输出直流电压：500V 额定输出直流电流：150A 额定输出中频电压一次：750V 变压器输出电压 300V，275V 输出频率：8000Hz 额定总功率：75KW 第 0 页 可控硅镀膜设备技术方案 c 4、真空用中频输出变压器 一次 750V ，二次 300V，275V 二档可调。 5、本系列电源特点及功能 （1）主电路三相整流电路：设计方案为三相全控整流桥形式。主 回路原理框图见下图所示。 （2）逆变回路 逆变器设计为串联逆变器，控制部分在原西德 AEG 公司控制 电路基础上吸收国内外各厂家先进技术，研制成我厂自有特色的 专用技术，“宽频带逆变控制器”，具有： ①零压启动； ②不需预磁化、内外桥等繁锁启动环节，提高装置可靠性； ③主电路逆变管选用国内优秀品牌的元件 （3）具有高可靠、高抗干扰、高一致性能的集成电路设计控制系 统，主控板是由计算机优化设计成大板化、模块化，结构最 简单、性能最可靠、维护最方便。 （4）控制板精心设计，增设抗干扰线路，方便用户各种要求，保 证输出特性符合用户需求，需调节的电位器集中放置，便于 调试、维修及与外电路电压同步。 第 1 页 可控硅镀膜设备技术方案 c （5）方便的外部控制接口，很容易与自动生产线主机联结，实现 无人操作、自动化生产及外接温度闭环调节。 （6）采用最新设计，三相无顺相序要求，使电源应用更加方便简 单。 （7）完善的功能。反馈、截压、截流、过压、过流、水压等控制 保护功能。保护采用快速器件，保护完善可靠，大大减少了 维修量。负载适应能力强，加热过程中，系统自动适应负载 变化，保证最佳工作状况，空载、满载启动性能在 99.9％以 上。低压启动，避免开机冲击电流，大大延长设备使用寿命。 （8）控制面板设计一目了然，操作简单，对操作人员略加讲解， 便可胜任日常工作；维修方便；金属板条结构，安装工艺讲 究，布局合理，增强了抗干扰能力，在特殊场合也能稳定工 作。 （9）采用双闭环控制，稳定性高。电网波动±10% 时，电源输出 仅波动±0.5% 。 （10）三路负载输出，每路输出功率均可分别调整，调整范围 20%。 三、 中频电源成套设备供货范围 1、KGPS—75KW/8000Hz 中频感应加热电源 一台； 2 、中频补偿电容器一套； 3、中频输出变压器，一台； 4、输出电缆 3×2 根 5、蒸发感应器三台； 6、石墨内坩埚 3 只 7、外坩埚 3 只 8、外控操作台一台。 四、 我厂成套设备主要元器件生产厂家 1、 可控硅