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Agile
廉正
熟情 Passion
Accountability
HJ新 Innovatio
合作 Cooperation
CRT
Core Values
055FB21
TG-D501-Y12-5 TG-D501-Y12-6
Sample Building Report
It相良
It相良
加rights reserved. Do not copy or distribute.
Copyright ? Chimghwa (Picture ^Tubes, Ltd.
Outline
Recipe Table Total Result
吸真空mura
Summary
Displaying)vur vision I
Resist
TG-D501-Y12-5
ID
0001
0002
0003
0019
0023
0024
0025
0026
0027
0028
0029
0030
0031
0041
0042
0043
uv
5
S
5
S
5
5
S
5
5
5
5
5
S
S
5
S
Flow rate (ul/sec)
700
800
900
740
740
740
740
740
740
740
740
740
740
740
740
740
Pre-bake
Temp(t)
120
120
120
120
120
120
120
120
120
120
120
130
110
110
110
110
Time (sec)
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
EXP.
Dose (mj)
30
30
30
40
38
48
S8
38
38
38
38
38
38
SO
SO
40
Gap (um)
130
130
130
130
130
130
130
120
150
150
150
130
130
130
130
130
Stage C)
DEV. Speed (mm/min)
S200
5200
5200
S200
5200
S200
5200
5200
5200
S600
4800
5200
5200
5200
S600
6000
Rise Speed (mm/min)
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
4800
FT.
PH
AVG
Max
1.1$
Min
Max-Min
PW
AVG
/
/
/
Max
/
Min
/
/
/
Max-Min
CD
PH
28.7S±
AVG
/
/
/
28. S3
Max
/
Min
/
/
/
Max-Min
/
/
/
PW
6.0 土
AVG
/
/
/
Max
/
Min
/
/
Max-Min
匕
/
/
OD
AVG
/
/
—
TG-D501-Y12-5 BM 膜厚,OD的舄。
TG-D501-12-5 PW=5.81 畤全距舄 。(PW spec.=6 um)
o£ - L
I CS2uaM q Iknu
2.吸真空mura
TG-D501-Y12-5
I段差
TG-D501-Y12-6
段差
TG-D501-Y12-5 TG-D501-Y12-6 外II 皆有吸真空mura Rank 4 (吸真空mura以基板四角段易畿琨,PL穿透燎源隧约可视)
TG-D501-12-5 TG-D501-Y12-6 量测吸真空mura 段差: TG-D501-Y12-5 舄
TG-D501-Y12-6 舄0.344 格舄v0.67)
Displaying)vur vision I
3. Summary
? TG-D501-Y12-5 TG-D501-Y12-6 於光罩CD bias =6 um (Mask Design = 6.5 um, Spec.=6 um)下,藉由coater/HP/Dose/Gap/Dev|t 程参敦言周整可乍符合目前高PPI (PW=6um)且FT 1.1 um OD4.5 M 格需求。
? TG-D501 -Y12-5 TG-D501 -Y12-6 外麒有吸真空mura Rank 4 (PUt 穿透BO勺可视,基板四角聿交易畿说)TG-D501-Y12-5舄,TG- D501-Y12-6 0.344 (廨内spec.v 0.67)。
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