真空设备应用.pptxVIP

真空設備應用報告人：Ko-Min 內容真空歷史背景為什麼用真空真空系統元件介紹真空鍍膜設備介紹真空鍍膜產品目前與未來真空歷史背景1643---義大利托里切利之水銀管實驗1654---德國葛瑞克證明大氣的巨大壓力，馬德堡半球1662---英國波以爾定律1879---瑞士白努力定律1835---化學濕式法澱積了銀鏡膜，它們是世界上最早的光學薄膜1905---德國蓋德機械幫浦1936---油擴散幫浦為什麼用真空?取得真空環境後可產生大氣中沒有的新現象提高電熱絕緣性能→保溫瓶延長粒子飛行路徑→陰極射線管去除周圍氣體屏障→真空冷凍乾燥減少有害氣體作用→電燈泡高速佈滿物體表面→鍍膜(約mm2/s 有105個分子；10-1pa只要幾百分之一秒)真空鍍膜技術應用手機業－ 手機機殼、按鍵、屏幕、EMI…電腦業－ EMI、裝飾…印刷電路板－ BGA、軟性基板…製鞋業－ Clean、裝飾…被動元件－ 晶片電阻…汽車業－ 車燈、裝飾…模具業－ 抗沾黏、耐磨耗…光電業－ LCD、OLED、Solar、Touch Panel…其它－ 半導體、刀工具、光學鏡片…薄膜沉積(Thin Film Deposition)物理氣相沉積PVD化學氣相沉積CVD蒸鍍離子鍍濺鍍熱反應CVD電漿輔助CVD熱電阻蒸鍍直流濺鍍大氣壓CVD電子束蒸鍍射頻濺鍍低壓CVD真空鍍膜設備應用BG (製程真空計)真空腔體LVG (低真空計)HVG (高真空計)Vent(破真空閥)ATM大氣感測器RV(粗抽閥)MV(主閥)高真空Pump粗抽PumpFV(前級閥)如何抽真空 粗抽pump - RP+BP (油式迴轉pump+魯式pump) - Dry pump+BP (乾式pump) 高真空pump - Turbo Molecular pump (渦輪分子pump) - Cryo pump (冷凍pump) - Diffusion Pump (擴散pump)真空系統元件介紹粗抽PUMP高真空PUMP真空計真空閥門電源供應器：DC/ RF/ MF真空設備介紹批次式(batch type)濺鍍系統批次式(batch type)濺鍍系統連續式(立式In-line)濺鍍系統連續式(臥式In-line)濺鍍系統ClusterClusterClusterCVD Furnace電漿真空鍍膜產品Thin Film in LCDTFTITOBMAR Coating ?? ?? ?? ??OLEDglasshvITO or TO or ZnOSputter/LPCVDp-type a-Sia-Sin-type a-SiPECVDAlglassSputter太陽能電池LEDLED 製作流程原料：磷、砷、鎵電極圖形製作上游中游下游鍍製電極薄膜單晶成長晶片磨薄切割、研磨、拋光單晶片鍍製電極薄膜晶粒切割磊晶膜成長：液相磊晶(LPE)氣相磊晶(VPE, MOCVD)成品封裝其它鍍膜應用其它鍍膜應用真空鍍膜未來/2011-07/R_2010_2011nianquanqiujichukongpingxin.html各式手機、平板電腦所用觸控面板技術結論 從上述中我們可以了解，真空鍍膜技術及設備在當今和未來都擁有十 分廣闊的應用領域和發展前景。 在目前大規模半導體之電學膜： 在數字式縱向與橫向均可磁化的數據記錄儲存膜： 在能充分展示和應用各種光學特性的光學膜： 在TFT、LCD平面顯示器上的導電膜及増透膜： 在建築、汽車行業上應用的玻璃膜及裝飾膜： 在包裝領域用防護膜、阻隔膜： 在工具、模具上應用的耐磨超硬膜： 在奈米材料研究方面的各種功能性薄膜： 以上都是真空鍍膜技術及設備在廣泛應用的基礎上得到不斷發展的領域，相信它是永不停止的。?END9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。10、人的志向通常和他们的能力成正比例。11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。13、志不立，天下无可成之事。14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about.。15、会当凌绝顶，一览众山小。16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么