工程测试与信号处理课件尺寸、线位移测量.pptVIP

工程测试与信号处理课件尺寸、线位移测量 电涡流涂层厚度仪 电感式不圆度计 该圆度计采用旁向式电感测微头 电感式不圆度测量系统外形 测量头 旋转盘 不圆度测量打印 电感传感器在粗糙度测量中的应用 ——手持式粗糙度仪 ?触针: 金刚石圆锥；?针尖圆弧半径：5μm；?可存储500个粗糙度参数值及4组轮廓数据；?可进行粗糙度参数的打印；?可对外圆、内孔、轴肩、圆锥面等各种复杂表面进行测试； 粗糙度仪外形 金刚石测头 粗糙度测量结果打印（2） 长度及线位移测量 感应同步器 感应同步器是利用两个平面形绕组的互感随位置不同而变化的原理制成的用来测直线或转角位移的传感器。测量直线位移的称为长感应同步器，测量转角位移的称为圆感应同步器。感应同步器具有如下优点： （1）具有较高的测量精度和分辨力。目前直线式感应同步器的精度可达±1.5μm，分辨力达0.05μm；直径300mm的圆感应同步器精度达±1″，分辨力达0.05″。 （2）感应同步器基于电磁感应原理，感应电势仅取决于磁通量的变化率，几乎不受环境因素如温度、油污、尘埃等的影响。 （3）工作时无接触摩擦、磨损，使用寿命长，工作可靠，抗干扰能力强，非常适合于恶劣的工作环境，便于维护。 （4）直线式感应同步器的测量范围，可以根据需要将若干个定尺接长使用，长度可达20m。 （5）工艺性好，成本较低，便于复制和成批生产。 长度及线位移测量 直线式感应同步器结构示意图 典型周期为2mm 长度及线位移测量 圆感应同步器结构示意图 定子 转子 长度及线位移测量 长度及线位移测量 正、余弦绕组在定尺中的感应电动势分别写成 其中 长度及线位移测量 感应同步器的信号处理与测量电路 正弦绕组激励 余弦绕组激励 定尺绕组上的感应 定尺绕组输出为 长度及线位移测量 正弦绕组激励 余弦绕组激励 定尺绕组输出为 长度及线位移测量 1－测杆；2－膜片；3、5－开槽簧片；4－活动电极筒；6-接线座；7-调节螺钉；8-引线；9-弹簧；10、11-固定电极筒 电容式 长度及线位移测量 总电容为Cx=C1+C2，作为一个桥臂，Cx与固定电容C0、变压器T的次级L1和L2构成电桥，音频信号经变压器耦合为电桥提供交流电源。 如果带材只是上下波动，电容的增量一个增加一个减少，总的电容量Cx=C1+C2不变；如果带材的厚度变化，则电容Cx将随之变化，电桥将该信号变化转换为电压，经放大、整流等处理电路后，输出的直流信号指示厚度变化值 光栅位移传感器(Optical gratings) 在一块长条形(圆形)光学玻璃(或金属)上进行均匀刻划，可得到一系列密集刻线，如图所示，这种具有周期性刻线分布的光学元件称为光栅。 图中，a为光栅刻线宽度，b为光栅缝隙宽度，a+b=W 称为光栅的栅距(也称光栅常数(Grating period))。为了方便处理，通常取a=b=W/2。 光栅式传感器有如下的特点： (1) 大量程兼有高分辨力和高精度。在大量程长度与直线位移测量方面，长光栅测量精度仅低于激光干涉传感器；圆分度和角位移测量方面，圆光栅测量精度最高。一般长光栅测量精度达(0.5～3)/3000?μm，圆光栅测量精度达0.15″，分辨力达0.1″。 (2) 可实现动态测量，易于实现测量及数据处理的自动化。 (3) 具有较强的抗干扰能力，适合一般实验室条件和环境较好的车间现场。 光栅式传感器在几何量测量领域有着广泛的应用，所有与长度(位移)和角度(角位移)测量有关的精密仪器中都经常使用光栅式传感器，此外，在测量振动、速度、应力、应变等机械测量中也常有应用。 一、计量光栅的种类 利用光栅的莫尔条纹(Moire patterns)现象进行精密测量的光栅称为计量光栅。根据基材不同，分为金属光栅与玻璃光栅；根据刻划形式不同，分为振幅光栅与相位光栅；根据光线的走向，分为透射光栅与反射光栅；根据用途不同，分为长光栅与圆光栅。 1．长光栅 刻划在玻璃尺上的光栅称为长光栅，也称为光栅尺(Grating ruler)，用于测量长度或直线位移。其刻线相互平行，一般以每毫米长度内的栅线数(即栅线密度)来表示长光栅的特性。 根据栅线型式的不同，长光栅分黑白光栅和闪耀光栅。黑白光栅是指只对入射光波的振幅或光强进行调制的光栅，所以又称振幅光栅。闪耀光栅是对入射光波的相位进行调制，也称相位光栅。振幅光栅的栅线密度一般为20～125线/mm，相位光栅的栅线密度通常在600线/mm以上。