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ITO Sensor车间基础知识 2012.03.17 目录 无尘车间注意事项 产品主要生产工序 名词解释 线别介绍 单面产品结构 无尘车间注意事项 凡进入无尘室者必须依规定穿好无尘鞋、静电衣，方可进入无尘车间； 头发必须用头罩罩住，不得露出于静电衣外，口罩应罩在鼻梁位置，依标识进入风淋室进行吹尘； 风淋室内一次最多允许两个人同时进入吹尘，请勿随意拨动调整好的风嘴方向； 在无尘车间内不得饮食、嬉闹或从事其他与工作无关的事情； 在工作的区域应保持整洁、干净 。 产品主要生产工序 单面结构 名词解释 ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜 电阻率和光透过率 光刻胶 经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，得到所需图像；光刻胶分为正性光刻胶（被曝光的部分结构被破坏，在显影液中被溶解）和负性光刻胶（被曝光的部分结构被加强，没有照射部分在显影液中被溶掉） 单面结构指的是图案处理都在同一面（R面）进行 双面结构指的是图案处理在两面（F、R面）均进行 线别介绍 ITO线 前清洗、镀膜（镀ITO、Metal膜） 黄光线 前清洗、涂胶、预烘烤、曝光、显影（ITO、Metal图案处理、OC搭桥和保护） 蚀刻线 ITO蚀刻和Metal蚀刻 单面金属搭桥产品结构 谢谢大家！ * * 双面镀ITO R面ITO-POSI工序 F面ITO-POSI保护 刻蚀R面ITO膜/双面脱膜 R面POC1工序 R面POC2工序 R面MO-AL-MO 刻蚀/脱膜 R面MO-AL-MO POSI工序 R面镀MO-AL-MO F面为屏蔽层 保护作用 起搭桥作用 金属图案处理 ITO图案处理 F面 R面 F-ITO图案 R-ITO图案 MoAlMo镀膜 MoAlMo图案 POC图案 双面ITO镀膜 双面ITO镀膜 R面ITO镀膜 R-ITO1图案 POC1图案 R面ITO镀膜 R-ITO2图案 MoAlMo镀膜 MoAlMo图案 POC图案 F面ITO镀膜 双面结构工序 单面ITO搭桥结构工序 单面Metal搭桥结构工序 R-ITO图案 POC1图案 MoAlMo镀膜 MoAlMo图案 POC图案 POC2 Metal POC1 ITO Glass Shielding ITO *
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