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乘系统基础知识 概述 HOOK-UP 专业认知 一、 厂务系统 HOOK UP 定义 HOOK UP 乃是藉由 连接 以传输 UTILITIES 使机台达到预期的 功能。 HOOK UP 是将厂务提供的 UTILITIES ( 如 水 ,电 ,气 ,化学品 等),经由预留之 UTILITIES 连接点 ( PORT OR STICK), 藉由管路及电 缆线连接至机台及其附属设备 ( SUBUNITS) 。 机台使用这些 UTILITIES, 达成其所被付予的制程需求并将机台 使用后 ,所产生之可回收水或废弃物 ( 如废水 ,废气等 ),经由管路连接至 系统预留接点 , 再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。 HOOK UP 项目主要包括:CAD , MOVE IN , CORE DRILL , SEISMIC , VACUUM ， GAS ， CHEMICAL ， D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN. 、 GAS HOOK-UP 专业知识的基本认识 在半导体厂，所谓气体管路的 Hook-up (配管衔接)以 Buck Gas (一 般性气体如 CDA、GN2、PN2、PO2、PHE 、PAR、H2 等)而言， 自供气源之气体存贮槽出口点经主管线( Main Piping )至次主管线 ( Sub-Main Piping )之 Take Off