第8章微测辐射热计焦平面阵列.ppt

第8章微测辐射热计焦平面阵列;一种探测入射红外光引起自身温度升高的传感器。使用一种电导率随着温度变化的材料来测量温度的改变量。这样通过温度的改变量来测定入射红外光的大小。;原理上：辐射计：利用入射的红外光使辐射计探测材料温度发生变化来探测的。 传感器：利用其他敏感量来测量。 探测对象：一个是红外光（热辐射），另一个是其他的敏感量（如声音、压等）。 材料上：辐射计：利用电导率随着温度变化的材料。传感器：如压力传感器可利用压电陶瓷等。 ;8.1 引言; 由机械桥型的Si3N4构成，外部为100μm大小﹑厚为1μm，带有金属薄膜温度敏感电阻器。 构造这些装置时，使用各向异性蚀刻法制成的硅片来制作隔热的Si3N4微型桥路，对IR辐射很敏感。 ; 1982，Kruse通过计算表明硅微型机械加工的微型辐射计可以达到接近室温下IR探测器的性能，并提出了他们作为一个两维的凝视型焦平面阵列的构造。; 1983年，带有微机械加工的测辐射热计的红外成像仪演示于众(Wood 1983)。 ; 成像元件是受单元探测器吸收的辐射光所影响。 入射光能量下温度增加的热流量公式，温度的增加依赖于探测机构。 最重要的探测器件是电阻型测辐射热计。 ;电阻变化（辐射计） 热电结（TE传感器） 热释电效应