热偶真空计原理完整版新.pdf

毕业设计（论文） 成都电子机械高等专科学校 二00八年六月 第一章 热偶真空计原理 1.1 规管原理 热电偶真空计是利用气体分子的热传导现象,热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电流后会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导,或细线本身的固体热传导,或热辐射 放出。利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的特点是此真空计的原理。热偶真空计是由热偶真空规管Ⅰ和测量电路Ⅱ所组成。热偶规管是由热丝、热偶丝、玻壳组成。 如果保持细线的发热量即保持一定的电流,则周围压力高的时候气体夺走的热量较多,致使细线的温度较低。反过来周围压力低的时候细线的温度会升高。这种温度的变化通过热电偶 检测出来,将热电偶的起电力换成压力之后即可知真空腔内的压力。 成都电子机械高等专科学校 通信工程系毕业论文设计 特征：利用气体分子的热传导现象,可能测量的压力范围在1-300Pa之间。热电偶真空计测得细线温度同时,也受到细线本身的固体热传导和热辐射放热的影响。因此精度不高。但是 电路简单,价格低廉 另外其传导元件用镍铜合金在此真空计在大气压状态下也不会烧损一致于损坏电路。而且测得的压力值通过电信号被取出,因此在自动控制方面容易控制。 其工作过程可用简明符号来表示： P度↑→分子↓→Q ↓分子从热丝上带走热量→TA ↑→△T ↑(TA-TB)→E ↑热电势，也可以归纳出E ↑→P度↑。 热偶真空计对热丝、热偶丝的要求： 对规管热丝只要求在工作温度（100-200℃）和较高压强下具有足够的物理和化学稳定性和较小的电阻稳温度系数（随温度变化其电阻值变化要小），常用的有φ 0.05-0.1mm 的铂丝、 钨丝和镍丝，工作加热电流在0.1-0.5A。若用铂丝，尺寸为φ 0.08×2705mm。 对热偶丝的要求是在上述工作温度范围内具有足够的灵敏度和物理化学稳定性。常用是的材料有康铜（镍43%；铜57%）-镍鉻合金（镍80%+鉻20%）、铂铑-铂、铜-康铜。镍鉻合 金—、鏑-铋等。若用康铜-镍鉻丝其尺寸要求为φ 0.05×25mm。 热偶真空计分为：定流式和定温式 复杂规管（传感器）有4根线，如图1-1所示： 图1-1 热电偶原理图 定流式热偶真空计：就是（1）（2）脚加的电流I保持恒定不变，被测量空间的真空度变化，传感元件镍铜合金的温度发生变化，（3）（4）脚两端的电压也就发生变化。通过（3） （4）脚电压变化来反应真空度的变化。 3 定流式热偶真空计的缺点就是测量范围太小，当真空度10Pa时镍铜合金几乎达到饱和状态（3）（4)脚电压基本不再变化。如图1-2所示： 图1-2 测量范围图 定温式热偶真空计：在真空变化时使镍铜合金的温度保持不变就要给镍铜合金（1）（2）脚加一个补偿电流，通过对补偿电流取样的大小来反应真空度的变化。 -1 5 定温式热偶真空计的优点是测量范围宽，可测量10 ～10Pa 的真空度。如图1-3所示： 1 成都电子机械高等专科学校 通信工程系毕业论文设计 图1-3 测量范围图 1.2设计思路 针对上述要求而研制的本真空计是采用定温式电路和MCS-51 系列单片机来完成。它具有以下特点: 1.采用了光电隔离技术、数字滤波技术,和非线性参数及测量误差的修正技术,提高了测量精度和稳定性以及抗干扰能力。LED 数字显示。 2、测量范围宽，稳定可靠。 3、带两个气体压强的定值点