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东区电池效率提升经验分享;电池转换效率大幅提升;试验模型： ;因子选择与控制： 可控因子选择 气流：N2,POCL3,O2中选择POCL3作为key factor，以控制磷的掺杂总量和均匀性； 温度：温度影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为key factor； 时间：淀积时间，推进时间影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为key factor ； 压强：由于压强的波动相对于其绝对值非常小，对制程影响将较小； 噪声因子控制 片源：通过等份混片，保证片源一致； 时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间； 机台：保证路径一样； ;第一组试验： 对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案---E3： 第二组试验： 根据第一组试验结果，进行第二组试验确定时间，试验方案为全因子设计，找出最佳方案---E6 ;因子选择与控制： 可控因子选择： 气流：流量比例影响薄膜成分组成； 压强：影响膜的均匀性； 膜厚：影响减反射效果； 烧结温度：影响氢分布和钝化效果； 噪声因子控制： 片源：通过等份混片，保证片源一致； 时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间； 机台：保证路径一样； ;第一组试验： 对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案Recipe7： 第二组试验： 根据第一组试验结果，进行第二组试验，添加后到烧结因