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Optoelectronics 光电子, 2018, 8(1), 1-5 Published Online March 2018 in Hans. /journal/oe /10.12677/oe.2018.81001 Research on a Hole Diameter Testing Technology Xiaoqian Xi, Hanzhi Tan, Fen Zuo Huaiyin Normal University, Huai’an Jiangsu th st th Received: Feb. 14 , 2018; accepted: Mar. 1 , 2018; published: Mar. 12 , 2018 Abstract For the limitation of measurement space and the structure characteristics of the circular hole, it is difficult to measure the inner diameter of the circular hole. A measuring system for measuring the hole diameter, by combining optical confocal microscopy and geometrical optical imaging prin- ciple, is proposed in this paper. The basic principle of measurement is introduced, and the expe- rimental case is also given. The results show that this technology is feasible. Keywords Optical Testing, Confocal Microscopy, Hole Diameter 一种圆孔内径测量技术研究 郗晓倩，谈晗芝，左 芬 淮阴师范学院，江苏 淮安 收稿日期：2018年2月14 日；录用日期：2018年3月1 日；发布日期：2018年3月12 日 摘 要 由于测量空间限制和圆孔本身的结构特点，关于圆孔内径的测量难度较大。本文提出了一种结合光学显 微共焦点技术和几何光学成像原理，能精密测量圆孔内径以及内径分布的测量系统。研究了测量的基本 原理，并给出了基本的实验案例，结果表明该方法是切实可行的。 关键词 光学测量，显微共焦点技术，圆孔内径 文章引用: 郗晓倩, 谈晗芝, 左芬. 一种圆孔内径测量技术研究[J]. 光电子, 2018, 8(1): 1-5. DOI: 10.12677/oe.2018.81001 郗晓倩 等 Copyright © 2018 by authors and Hans Publishers Inc. This work is licensed under the Creative Commons Attribution International License (CC BY). /licenses/by/4.0/ Open Access 1. 引言 随着机械工业、航空工业、以及国防工业的不断发展，对小尺寸孔径或轴类零件提出精密或超精密 的加工要求的同时，也对其检测精度提出了更高的要求，而对于目前已经现有的孔径测量技术都或多或 少存在一些问题，例如接触式测量仪其中的坐标测量机测量法、电接触法，坐标测量机测量法测孔径其 测头端容易磨损并且对于受测孔径内径的材质也有一定的限制[1] [2]，电接触法测孔径受到被测孔端面情 况、线规端部情况、孔的清洁程度以及线规本身的尺寸精度、圆度、直线度等诸因素的影响，使得这种 方法的测量精度不高。而且更重要的是，这是一种综合测量，不可能测得小孔的任意截面的尺寸