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- 2021-09-03 发布于山东
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江苏阳光晶源科技有限公司标准操作文件
编 号:
配料作业指导书
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受控状态:
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1、目的
指导硅单晶技术工艺人员开具配料单;
2、配料原则
2.1太阳能级硅单晶是利用切克劳斯基(直拉)法将多晶硅料在特定工艺下转化为硅单晶,选用的多晶硅质量,例如硅中的N型、P型杂质,碳含量必须符合硅单晶的质量要求,再结合硅单晶的生产成本考虑,确定一个既能保证硅单晶质量,又可使产品成本最低的配料方案;
3、配料方案
3.1多晶硅料可以选用新的多晶原料(包括含碳头多晶,无碳头多晶以及免清洗多晶),复拉料(包括硅单晶头尾料,方棒边料,测试陪片以及硅片加工中的报废片),埚底料,按一定配比组合而成;
3.2从降低成本来说,宜增加复拉料及埚底料的投入数量,但复拉料、埚底料中的杂质含量及碳含量远大于新多晶原料中的含量,能投入多少复拉料、埚底料,一定要根据投入这些组合硅料后拉制的硅单晶质量能否符合标准为依据;
3.3新多晶原料的N型电阻率不宜小于50Ω·cm,P型电阻率不宜小于500Ω·cm,碳含量不能大于1ppma头尾料及埚底料,若为N型的,电阻率最好在1.5Ω·cm 以上;若为P型的,电阻率不能小于0.5Ω·cm(针对P型0.5-2.0Ω·cm产品而言);
3.4一般情况下,配料中的三种硅
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