湿法刻蚀工序作业指导书.docVIP

第 PAGE \* Arabic 11 页 保密 级别 C 文件 种类 作业指导书 文件 编号 LW－PT3－014－A0 编制 部门 工艺技术部 编制/日期 修订/日期 审核/日期 批准/日期 RENA湿法刻蚀工序作业指导书 1 目的 指导电池车间湿法刻蚀工序的生产操作。 2 适用范围 本文件适用于90MW电池车间湿法刻蚀工序生产人员。 3 定义 无 4 职责和权限 4.1 生产员工：若无工艺工程师许可严禁擅自对任何工艺参数进行修改与调整。 4.2 操作员 4.2.1 在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进行调整。在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。 4.2.2 协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，当发现工艺参数发生变化时应及时通知班组长，由班组长通知工艺工程师，或者主操作直接通知工艺工程师。 4.3 班组长 4.3.1 班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。 4.3.2 当工艺工程师不在现场，且刻蚀后硅片的边缘电阻、边宽出现异常时对带速、流量、腐蚀温度、溶液浓度等在一定范围内进行微调。当微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行调整。 4.3.3 当硅片出现异常，班组长应立即通知工艺人员。班组长在未得到工艺工程师的授权时，不得对刻蚀工艺参数进行任何调整。 4.3.4 班组长应该配合工艺人员严格按照实验要求完成各项实验。 4.3.5 协助工艺人员对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时应及时通知工艺人员，由工艺人员进行确认处理。 4.3.6 实验单由班组长负责，监督本组员工如实、认真填写。 4.4 工艺工程师： 4.4.1 保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产质量时，应该及时采取相应的解决措施。 4.4.1.1 工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行； 4.4.1.2 当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与主管工程师讨论确认方案的可行性，然后请求生产部协助，按计划进行实验； 4.4.1.3 工艺人员的实验在没有成熟时不得进行大批量生产。 4.4.2 在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数； 4.4.3 巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理； 4.4.4 可以根据工艺需要手动补液溶液的浓度进行微调。 4.4.5 可以根据工艺需要对手工清洗时间进行相应调整。 4.4.6 保证超净间各个工艺在规定的工艺参数下进行，对设备的各工艺参数进行定期复查 ，完成SPC相关工作； 4.4.7 配合其他车间工艺人员完成各项实验和质量控制。 5 流程 无 6 正文 6.1 结构特征 Station1：腐蚀槽 Station2：冲洗1槽 Station3：KOH润洗 Station4：冲洗2槽 Station5：HF润洗 Station6：冲洗3槽 Station7: 气刀风干 RENA Inline Texture Etching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH润洗→冲洗2→HF润洗→冲洗3→气刀风干→下料。 6.2 使用环境条件 6.2.1 环境温度：0 ℃～40 ℃ 6.2.2 相对湿度：＜85%、无凝露 6.2.3 周围环境：无腐蚀性气体 6.3 操作准备 确认设备能正常运行,压缩空气、DI水等压力及流量正常。戴口罩，操作时戴洁净手套，并保持室内正压，严禁随便开启门窗,以保持室内的洁净度。 6.4 信号灯及其状态 灯 声音 状态信息 无 无声音 机器处于关闭模式或SERVICE(服务）状态 绿（连续） 无声音 1、机器处于自动模式。1、机器准备并在工艺运行中 绿（闪烁） 无声音 1、机器处于自动模式。2、机器准备执行工艺 黄（连续） 蜂鸣响 指令错误，为解决 黄（闪烁） 无声音 机器处于手动模式 红（连续） 无声音 当前有机器错误或异常中断错误并已承认 红（连续） 蜂鸣响 新的机器错误或异常中断错误，并未解决 蓝（连续） 无声音 机器处于待命，并等待新的硅片 6.5 设备的操作模式 6.5.1 操作模式关闭： 关闭所有输出信号。例如设备停止时，选择这种操作模式。状态显示的背景颜色是蓝色。模块关闭，所有输出信号关闭。 6.5.2 手动模式： 单独控制每一模块的状态。状态显示的背景颜色是黄色。 6.5.3 服务模式： 主要用于维护。当选择该模式，关闭所有输出信号。可以在屏幕的“输出”内手动关闭独立部件。没有安全互锁。状态显示的背景颜色是红色。 6.5.4 自动模式： 当所有部分处于准备时并且不是工艺