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离子镀铝技术介绍 ■标准化文件发布号：（9456?EUATWK?MWUB?WUNN?INNUL?DDQTY?KII 离子镀铝技术 离子镀铝是通过物理气相沉积方法的方法在产品表而镀覆一层厚度 均匀、结合力好的纯铝涂层。离子镀铝是一门新技术，它具有工艺温 度低、镀层组织致密附着性、绕镀性良好、无公害等优点。目前主要 有磁控溅射、多弧和电阻加热蒸发这三类设备。美国等国开展了离子镀 铝研究工作较早，己取得较好成果，并应用于生产上。我国在80年代 前后开展了离子镀的研究工作，并相继开始了离子镀铝的研究，但由于 缺少环保意识，未获得大规模推广。 1、离子镀铝工艺流程 入炉前的工件清洗：金属清洗剂浸泡一金属清洗剂超声波清 洗一去离子水冲洗一脱水一烘干。通过清洗，使工件表面达到去油、 去污、脱水的状态； 装炉后的离子溅射清洗：工件装卡入炉，抽真空、待真空 度抽到8x l(TPa时，加热烘烤工件，同时通入氮气到2.6~6.67Pa之 后，施加800 - 1000V的负偏压，对工件进行离子清洗，离子轰击15 ~ 20mint以保证铝涂层与工件有良好的结合力； 离子沉积镀铝：起铝靶、调正氨分压、调整所需的靶功率。 等铝靶工作正常后，打开挡板，镀制铝涂层； 镀覆后处理：镀制结束，工件随炉冷却到150C。后’出炉’进 行化学氧化处理(在7. 5 - 15g/l阿洛丁 1200S溶液中氧化30 ~ 60s)。