集成电路制造工艺教案第一章4学时.pdfVIP

教学课题：课程介绍及概述 教学目的：了解课程的内容，了解该课程在专业体系以及现实生产中的意义，了解学习该课程应该注意 的问题。 教学内容： 1、课程介绍 2 、集成电路的发展历程 3 、集成电路的分类 4 、集成电路工艺基础 5 、集成电路的生产环境 教学重点：集成电路分类及工艺 教学难点：集成电路制造工艺 教学方法：讲授 学 时： 4 学时 详细教学内容： 一、课程介绍 1、简介 集成电路的制造是与电子科学与技术中的两个专业方向（微电子技术方向和光电子技术方向）相关的制 造业，该制造业是社会的基础工业、是现代化的基础工业，是国家远景规划中置于首位发展的工业。 介绍了集成电路（硅集成电路）的制造工艺原理的内容。微电子技术从某种意义上是指大规模集成电路 和超大规模集成电路的制造技术。由于集成电路的制造技术是由分离器件的制造技术发展起来的，则从制造 工艺上看，两种工艺流程中绝大多数制造工艺是相通的，但集成电路制造技术中包含了分离器件制造所没有 的特殊工艺。本课程简单介绍了制造器件时相关的工艺技术与原理。 集成电路制造工艺原理的内容是随着半导体器件制造工艺技术发展而发