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SPC執行辦法訓練教材 1 經由制程管制系統的執行，可隨時監控制程是否穩定，并經由統計手法的活用，降低制程中的變異，提升制程能力 目的 2 CC Q90 相關定義 1.SPC﹕為Statistic Process Control之縮寫，統計制程管制 2.Ca﹕Capability of Accuracy ，準確度或正確度，用以衡 量制程平均值與規格中心值偏差的程度，評價等級 Ca越小越好。 3. Cp﹕Capability of Precision，精密度，用以衡量制程標準 差與規格公差比之程度，即制程符合規格之能力， 評價等級，Cp越大越好。 4. Cpk﹕綜合能力指標，用以衡量制程之實際積效，評價等 級，Cpk越大越好。 3 CC Q90 相關定義 5. RFC: Response Flow Checklist，回應流程查檢表 用以使不穩定的制程回復成穩定狀態的工具 當制程管制處于不穩定狀態時，透過一系列 的診斷確認程序，以判定制程不穩定的原因 并對每個可能原因，列出解決對策，最後驗 證原因已確實解決，制程已回復至穩定狀態。 4 CC Q90 相關定義 6. Station Monitor﹕用以監控制程狀態的工具。Station monitor之管制特性不受產品種類、規格的影響 完全反映制程的品質，制程中Station monitor範圍 主要為制程之Output；如S/M濕種，氧化線weight gain。 7. In-line monitor﹕則為一個製程的Input參數。如：SPS之濃度、溫度、Cu2+含量…等屬於In-line Monitor，是目前PCS監控範圍。 5 CC Q90 作業流程圖 作業流程圖見附件流程圖 6 CC Q90 內容說明 1.制程Station Monitor項目的變更 1-1 新增 工程單位依下列原則考慮建立管制項目，經核准後實施 (1)工程理論上探討認為需要建立管制項目者 (2)重要參數未被列入控制者 (3)經常發生品質問題之項目 (4)客戶特別要求之項目 (5)新制程之重要控制參數 新增項目由工程單位提出“Station Monitor新增申請說明表”同 時修改“制程Station Monitor項目匯整表“，并提出新管制項目 的”管制圖履歷表“。 7 CC Q90 內容說明 1-2 刪除 各制程管制項目欲刪除，應考慮下列幾項 (1)是否是因無此產品而刪除相關之管制項目若確定 已無生產此種產品則可刪除相關之管制項目。 (2)此項管制項目是否屬于可靠度Monitor，原則上可 靠度Monitor不應刪除。 (3)此項管制項目若過去三個月有超過管制界限或規 格界限之情形，則不應刪除此項管制項目。 (4)過去3個月計算Cpk值均應大于1.33，此項管制項目 可考慮刪除。 (5)若該制程或下制程有其它管制項目可達相同監控 目的者，可考慮刪除 8 CC Q90 內容說明 1-2 刪除 (6)原則上，制程Output之管制項目不應刪除。 決定刪除之管制項目，應由現場單位填具 ”製程管制項目變更申請單” 說明刪除項目及理由，並檢附相關資料，經部門主管審核，並由J00 PE以工程理論說明並判斷是否可刪除，再經工程、品保單位會簽，Q00核准後刪除該管制項目。J00 PE應同時更新相關POR、SOP及製程Station Monitor項目彙整表或產品Station Monitor項目彙整表。 9 CC Q90 內容說明 1-3 加嚴 當在管制圖上連續5點(批)中有2點(批)超出管制界線者，應於QIS發出通知後，加嚴(頻率增加或抽樣量增加)檢驗；由J00提出管制項目變更申請單並以工程理論上判斷是否有加嚴之需求，若認定有加嚴之需求，則需修改該項之管制圖履歷表。 10 CC Q90 內容說明 1-4 減量 每月月初QIS檢討