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概述
GZP-2A 全自动硅片装片机
使用说明书
无锡双川科技有限公司
1 主要用途和适用范畴
将方形硅片放入 25 片篮具内以供下一工序使用;
2 产品特点
ZPJ-2X 全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料为升降系统、上料位、皮带传送机构、掌握面板、硅片分取系统构成;
本产品型号组成:“ ZPJ”代表装片机, 2X 代表 2 个工位 2 个吸盘;执行标准 Q/AH318-1998《产品型号的命名》;
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3 品种
全自动装片机, ZPJ-2X;
4 使用环境条件1)环境温度: 15~35 摄氏度;2)相对湿度: 60%,无凝露;3)四周环境:无腐蚀性气体;
5 工作条件
产品工作电源为单相三线制电源,并有压缩空气源;
6 对环境及能源的影响本产品对环境及能源无污染;
7 本产品所执行的标准编号
GB191-1990 包装储运图示标志
GB4793.1-1995 测量掌握和试验室用电气设备的安全要求
Q/AH 117-2002 产品标牌
Q/AH 318-1998 产品型号的命名
结构特点及工艺流程
1 结构特点
ZPJ-2X 全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料升降系统、上料位、皮带传送机构、掌握面板、硅片分取系统构成;
1) 设备本体:结构稳固,机身喷塑处理;
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篮具升降系统:利用步进系统进行精确定位
上料升降系统:利用步进系统进行精确定位
上料位:可进行适当调剂
皮带传送机构:传送带选取对硅片无损耗和无污染的材料,采纳导向机构,确保硅片顺当精确的进入篮具;
掌握面板:采纳 26 万色真彩显控触摸屏
硅片分取系统: 气嘴分别位于硅片两侧, 在吸盘真空开头后略微下降上料台, 供应足够空间让粘连硅片分开; 吸头采纳的是 PEEK 材质,不会损耗硅片表面;
2 工艺流程
工艺流程示意图(图1)
图 1 1)将硅片放置与上料位;
2)步进电机带动硅片向上移动到指定位置;
3)凸轮电机执行器带动吸盘运动到吸片位置;
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吹气分别装置开头工作;
吸盘吸取硅片,并轮番把硅片放置于两侧的传送带上;
传送带开头工作,把硅片送入到篮具中;
主要技术参数及功能
3. 1 外型尺寸:约 930( L)x 830(W) x 1550(H) (mm)
3. 2 装片效率: 2000~2400 片/小时3. 3 碎片率: 1/1000
4 工位数:双工位
5 设备兼容 156x156mm、125x125mm 两种规格的硅片
功率、重量
4. 1 功率: 500W
4. 2 重量:约 200Kg
运输和安装
1 安装
安装调试前,应先仔细检查设备及其附件,检查是否有破坏或遗漏的部分;
设备必需水平放置,安装时通过调整地脚螺栓,使设备达到水平;
3 连接电源、气源等;
4 根据要求对设备进行良好接地;
使用、操作
1 使用前的预备与检查
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1 检查设备妥当安装,并将机器调至水平位置;
2 将全部电源开关及电器开关置于“关”位置,检查电源是否合乎要求,机壳接地是否牢靠;
3 检查供应的氮气、压缩空气压力是否满意要求;
设备面板上由一个启动按钮(绿色) 、一个停止按钮(红色)、一个急停按钮(红色蘑菇按钮)和触摸屏构成;
左边有一个报警蜂鸣器、台面上有左右两个篮具复位按钮;
确认设备正常后,打开电源开关,松开急停按钮显示开 始画面如下(图 2):如使用完毕可以按下停止按钮 (红色),紧急情形下可以按下急停蘑菇按钮,再关闭电源 开关;
GZP-2A全自动硅片装片
无锡双川科技有限公司
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联系电话: 0510-8102715888
延时几秒后进入系统手动画面(图 3);
2.3 手动状态
“手动状态”注释表 1
旋转停止 /启动 按下凸轮旋转开头 /再按下凸轮旋转停止旋转吹气
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