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现代检测技术A 第4章 电容式传感器 4.1 电容式传感器工作原理 现代检测技术现代检测技术AA 主要内容 教学目标： 1. 了解电容式传感器的应用； 2. 了解电容式传感器的特点； 3. 掌握电容式传感器的分类； 4. 掌握各类电容传感器的工作原理。 教学内容： 1. 从电容式传感器的应用入手，介绍其特点； 2. 从电容式传感器的测量原理入手，对其进行 分类； 3. 介绍各类电容式传感器的工作原理。 现代检测技术现代检测技术AA 4.1 电容式传感器工作原理 概述  传统电容式传感器主要用于位移、角度、振动、加速 度等机械量精密测量。  现代电容式传感器逐渐应用于压力、压差、液面、成 份含量等方面的测量。  应用实例： 液位测量 角度测量 现代检测技术现代检测技术AA 4.1 电容式传感器工作原理 电容式传感器的特点：  电容器容值小(几十～几百微法)，输出阻抗高;  极板静电引力小，工作所需作用力很小；  可动质量小，固有频率高，动态响应特性好；  功率小，本身发热影响小；  可以进行非接触测量。 电容式接近开关 电容式差压传感器 现代检测技术现代检测技术AA 4.1 电容式传感器工作原理 电容传感器工作原理： 电容式传感器是将被测非电量变化成电容量的变化。 电容传感器工作原理可以用平板电容说明：  +++ AAA +++ X +++ s   s C 0 r    现代检测技术现代检测技术AA 4.1 电容式传感器工作原理 电容传感器工作原理和类型： s   s C 0 r 改变式中:   S — 极板面积，称变面积型电容传感器 δ — 极板距离，称变极距型电容传感器 ε — 介电常数，称变介质型电容传感器 其中： ε — 真空介电常数 0    1 ε — 空气介质的相对介电常数近似为 r r