15电容式传感器的输出特性.pdfVIP

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现代检测技术A 4.2 电容式传感器的输出特性 现代检测技术现代检测技术AA 主要内容 教学目标: 1. 掌握变极距式电容传感器的输出特性; 2. 掌握变面积式电容传感器的输出特性; 3. 掌握变介电常数式电容传感器的结构及输出 特性。 教学内容: 1. 介绍变极距式电容传感器的输出特性,分析 其非线性,引入差动结构; 2. 介绍变面积式电容传感器的输出特性; 3. 介绍变介电常数式电容传感器的结构,分析 其输出特性和应用。 现代检测技术现代检测技术AA 4.2 电容式传感器的输出特性 1. 变极距型(δ) 初始电容C0 s /  ,极距减小△δ时, 0 电容量增加△C:C C0 C s s C C C  0    0 0   C / 0 C 1 / 0 0 当分母 0 1 时,用泰勒级数展开 C    2  3 [1  ( )  ( ) ] C     0 0 0 0 0 现代检测技术现代检测技术AA 4.2 电容式传感器的输出特性 C    2  3 [1  ( )  ( ) ] C     0 0 0 0 0 做线性处理(忽略高次项)后,电容相对变化量与电容极 板的极距变化成正比: C   C  0 0 定义电容传感器灵敏度为 C / C 1 k 0 0   0 现代检测技术现代检测技术AA 4.2 电容式传感器的输出特性 结论:  变极距型电容传感器灵敏度与初始极距有关: C / C 1 k 0 0  

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