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现代检测技术A
4.2 电容式传感器的输出特性
现代检测技术现代检测技术AA
主要内容
教学目标:
1. 掌握变极距式电容传感器的输出特性;
2. 掌握变面积式电容传感器的输出特性;
3. 掌握变介电常数式电容传感器的结构及输出
特性。
教学内容:
1. 介绍变极距式电容传感器的输出特性,分析
其非线性,引入差动结构;
2. 介绍变面积式电容传感器的输出特性;
3. 介绍变介电常数式电容传感器的结构,分析
其输出特性和应用。
现代检测技术现代检测技术AA
4.2 电容式传感器的输出特性
1. 变极距型(δ)
初始电容C0 s / ,极距减小△δ时,
0
电容量增加△C:C C0 C
s s
C C C
0
0 0
C /
0
C 1 /
0 0
当分母 0 1 时,用泰勒级数展开
C 2 3
[1 ( ) ( ) ]
C
0 0 0 0 0
现代检测技术现代检测技术AA
4.2 电容式传感器的输出特性
C 2 3
[1 ( ) ( ) ]
C
0 0 0 0 0
做线性处理(忽略高次项)后,电容相对变化量与电容极
板的极距变化成正比:
C
C
0 0
定义电容传感器灵敏度为
C / C 1
k 0
0
0
现代检测技术现代检测技术AA
4.2 电容式传感器的输出特性
结论:
变极距型电容传感器灵敏度与初始极距有关:
C / C 1
k 0
0
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