激光切割工艺实践拓展材料基于532nm波长纳秒激光器的玻璃切割工艺研究.pdfVIP

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2021-09-17 发布于北京
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激光切割工艺实践拓展材料基于532nm波长纳秒激光器的玻璃切割工艺研究.pdf

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第卷第期应用激光，３５４Ｖｏｌ．３５Ｎｏ．４　　　　　　　　　　　　　　　　　　年月ＡＰＰＬＩＥＤＬＡＳＥＲ２０１５８Ａｕｕｓｔ２０１５　　　ｇ基于５３２ｎｍ波长纳秒激光器的玻璃切割工艺研究，，，，，，，，，，，，１２３１２３１２３４１２３１２３４沈佳骏，骆公序，潘涌，刘中俊，姜兆华　　　　１２（，；，；上海市激光技术研究所上海２００２３３上海市激光束精细加工重点实验室上海２００２３３　３，；４，）先进激光应用联合实验室上海２００２３３上海激光直接物标溯源工程技术研究中心上海２００２３３　，，摘要基于ＥｄｅＷａｖｅＧｍｂＨ５３２ｎｍ波长的纳秒激光器通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验研究激光工艺参数　ｇ　　。，、、，对玻璃切割效果的影响实验表明通过对电流大小填充间隔分层切割和切割速度等激光参数的优化能够加工出边缘光、、，。滑无横向微裂无碎屑的玻璃基片获得较好的良品率；；；；关键词纳秒激光器５３２ｎｍ波长玻璃切割工艺参数切割效果　　　　　中图分类号：文献标识码：：／ＴＮ２４９Ａｄｏｉ１０．１４１２８．ｃｎｋｉ．ａｌ４９３　　　　　　　　ｊＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＧｌａｓｓＣｕｔｔｉｎＰｒｏｃｅｓｓｂａｓｅｏｎ５３２ｎｍＷａｖｅｌｅｎｔｈＮａｎｏｓｅｃｏｎｄＬａｓｅｒ　　　ｇ　