激光加工技术参考资料激光诱导化学反应刻蚀石英玻璃的实验研究.pdfVIP

下载本文档

102
0
约3.81万字
约 8页
2021-09-17 发布于北京
举报
版权申诉

激光加工技术参考资料激光诱导化学反应刻蚀石英玻璃的实验研究.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

48 3 Vol． 48 ，No． 3 第卷第期激光与红外 2018 3 LASEＲ＆ INFＲAＲED March ，2018 年月 :1001-5078 (2018)03-0291-08 · · 文章编号激光应用技术激光诱导化学反应刻蚀石英玻璃的实验研究，，，丛启东袁根福章辰郭百澄 ( ， 214 122) 江南大学机械工程学院江苏无锡 : 、、摘要针对目前常用的超短脉冲激光加工激光诱导等离子加工纳秒紫外激光加工石英玻，、、，璃刻蚀率低下的问题提出一种能够大范围高刻蚀率低裂损刻蚀石英玻璃的新方法即利用 1064nm Ba (OH) 。红外激光诱导 2 化学反应刻蚀本文主要从不同能量密度激光诱导化学反应，， 16 J / cm2 ， ; 刻蚀机理进行分析实验表明当激光能量密度超过时石英玻璃被刻蚀当激光能 16 ～ 24 J / cm2 ，， ; 量密度在之间时仅物理作用去蚀石英玻璃故刻蚀率随激光能量变化较小当 24 ～ 42 J / cm2 ，， Ba (OH) 激光能量密度在之间时刻蚀率随激光能量密度变化较大该阶段 2 以及其分解生成的BaO 在高温条件下都与石英玻璃主要成分SiO2 发生化学反应并生成BaSiO3 ， ; 42 ～ 46 J / cm2 ，，故刻蚀率较高激光能量密度在时化学反应速率趋于饱和故该阶段刻蚀率随激光能量密度变化较小。 : ; ; ; 关键词激光技术石英玻璃刻蚀化学作用机理刻蚀率中图分类号