半导体单晶硅生产用高纯石英砂.pdfVIP

ICS29.045

CCSL90

团体标准

T/XXXXXXX—2024

半导体单晶硅生产用高纯石英砂

High-purityquartzsandforemiconductormonosilicongrowth

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施

发布

T/XXXXXXX—2024

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4技术要求1

5试验方法2

6检验规则3

7标志、包装、运输和贮存4

I

T/XXXXXXX—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由××××提出。

本文件由××××归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

II

T/XXXXXXX—2024

半导体单晶硅生产用高纯石英砂

1范围

本文件规定了半导体单晶硅生产用高纯石英砂的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标

志、包装、运输和储存技术内容。

本文件适用于半导体单晶硅生产用高纯石英砂。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T6543运输包装用单瓦楞纸箱和双瓦楞纸箱

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T14187包装容器纸桶

GB/T24984日用塑料袋

JY/T0567电感耦合等离子体发射光谱分析方法通则

SJ/T10380工业用酸洗石英砂

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

高纯石英砂high-purityquartzsand

指具有极高纯度的石英砂，通常要求石英含量接近100%，并且少含杂质（如金属氧化物、碳等）以

确保最终单晶硅的纯净度和电子级要求。

粒度granularity

指砂子中各颗粒粒径大小的分布范围及其均匀性。通常采用网孔尺寸、平均直径或者累积频率等方

式进行描述。常见的石英砂粒度等级包括粗砂、细砂、细沙、细粉沙等。

杂质元素trampelements

指在石英砂原料中除主要成分二氧化硅（SiO）以外的其他元素，包括铝、钙、铁、钠、钾、锂、