多晶硅铸锭炉操作与生产流程.pptx

多晶铸锭炉简介与硅锭生产流程;培训内容;主要用途和特性;设备的组成和工作原理;1 炉体部件;2 加热隔热系统;3 真空与供气系统;4 冷却系统;5 电源供应与控制系统;1)工控机 整个控制系统以工控机操作为上位机，上位机完成控制 工艺的设置，控制过程中的监控，各种反馈信息（如：温度、 水流量、隔热区位置等）出现异常报警显示，统计和记录整个硅结晶过程的各种参量的变化情况并生成图表。 2）SNPA智能处理器 是控制系统的下位机单元，是核心单元，完成对温度 的控制，真空度及充入氩气的压力控制，隔热笼的提升控制，结晶的速度，水流量的检测，并送达上位机。 3）加热器电源系统 包括大容量的降压变压器以及可控硅的控制单元。 4）真空系统控制单元 包括对真空泵的控制，真空度的检测，以及气体流量控制。 ;5）检测单元 检测单元包括温度、水流量、隔热笼位置等检测。检测 器件有热电偶，红外测温仪，流量计以及位置反馈编码器 组成。 6）运动单元控制 运动单元控制下炉体的升降运动、隔热区的提升等动作。 7）系统供电单元 系统电源单元包括总电源开关，控制柜内配电保护，以 及UPS等构成。 ;工作原理;通过工控机设置完成各种工艺参数和预定参数后， 送达SNAP智能控制器。 具体过程：将经过SiN喷涂处理后的坩埚装入硅原料，并放置在热交换台上。关闭炉体抽真空，然后通过调整可控制硅的控制单元的变压器输出的低电压高电流，电流加到石墨加热器，并通过SNAP智能控制器 ，自动温度控制，加热若干小时以后完全熔化硅料。当硅料完全熔化后，根据工艺要求，缓慢提升隔热笼位置，暴露出热交换台，使一部分热量散发到炉壁，通过冷却水把炉壁热量带走，交换台温度的下降会传到坩埚底部，使硅溶液形成垂直的温度梯度，此温度梯度会使硅溶液下方凝固结晶至上方。当所有的硅液都凝固后，硅锭再经过退火、通入氩气、控制冷却方式等步骤以避免硅锭出现内应力，以及减少硅锭产生的晶体缺陷（主要是点、线、面缺陷），从而提高硅锭质量性能。（硅的导电性、可切割性。） ;结晶炉操作界面;报警窗口;监控窗口;自动控制窗口;工艺窗口;手动控制窗口;趋势图窗口;硅锭生产流程;坩埚喷涂;坩埚烘烤;备料;检验;装料;进炉;监控;出炉;脱锭入库;注意事项