现代集成电路制造工艺原理 教学大纲.docVIP

《现代集成电路制造工艺原理》教学大纲 Principle of Modern Integrated Circuit Manufacture Technology 课程编码：12A30560 学分：3 课程类别：专业任选课 计划学时：48 其中讲课：48 实验或实践：0 上机：0 适用专业：集成电路设计与集成系统 推荐教材： 李惠军，《集成电路制造技术教程》，清华大学出版社，2014年 参考书目： 1. 李惠军，《现代集成电路制造工艺原理》，山东大学出版社，2007年 2. 关旭东，《硅集成电路工艺基础》(第一版)，北京大学出版社，2003年 3. Stephen A.Campbell，《微电子制造科学学原理与工程技术》(第二版)，电子工业出版社，2003年 4. 李乃平，《微电子器件工艺》(第二版),华中理工大学出版社，1995年 课程的教学目的与任务 本课程的教学目的是培养学生掌握当代集成电路基本工艺原理，为学生后续学习本专业其他课程打下良好的基础，使学生对集成电路工艺有一个明确的认识。课程的主要任务是介绍半导体材料制备技术、微电子器件与集成电路制造工艺原理与技术，为今后从事此方面的研究与工作奠定基础。为微电子器件和集成电路的设计和制造奠定基础。 课程的基本要求 1、通过