第二篇材料电子显微分析.pptxVIP

利用电子显微镜观察和分析材料的组织结构，称为电子显微分析技术 电子显微镜是以电子束为光源的显微分析仪器，主要包括：透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针 电子显微镜的分辨率很高，目前透射电子显微镜的分辨率已优于0.1nm，达到了原子尺度 电子显微镜的分析功能很多，目前一台电子显微镜可兼有微观组织形貌、晶体结构、微区成分等多种分析功能 第一台电子显微镜于20世纪30年代问世，经历了几个阶段的发展，使电子显微分析技术已成为材料科学等研究领域中最重要的分析手段??一;第六章 电子光学基础;光学显微镜的分辨率极限; 可见光的最短波长是390nm，也就是说光学显微镜的最高分辨率是≈200nm。一般人眼的分辨本领是大约0.2mm，光学显微镜的最大分辨率大约是0.2μm。把0.2μm放大到0.2mm,放大倍数是1000倍。这个放大倍数称之为有效放大倍数。光学显微镜的分辨率在0.2μm时，其有效放大倍数是1000倍。 提高透镜的分辨本领：唯有寻找比可见光波长更短的，又能聚焦成相的照明光源才能解决这个问题。 ;电子波的波长特性;若被150伏的电压加速的电子束，依据 ＝ 0.1nm, 若加速电压很高，就应进行相对论修正(m 需经相对论校正)。;电磁透镜;比较图8-1d、e可见，电磁透镜对平行主轴的电子束的聚焦 与玻璃透镜相似，其物距L1、像距L2、焦距 f 的关系为 （8-6） 放大倍数M由（8-7）计算 （8-7） 焦距 f 可由下式近似计算 （8-8） 式中，K是常数；Ur 为经校正的加速电压；IN 为磁安匝数;第二节 电磁透镜的像差和分辨率;像差;1.球差 如图8-4，球差是由于透镜中心区域和边缘区域对电子的折射 能力不同而形成的，用 ?rs表示球差影响分辨率的大小 (8-9) 式中，CS为球差系数；? 是孔径半角。 减小球差的途径是减 小CS和小孔径角成像。若透镜放大倍数为M，球差与像平面上 最小散焦斑半径RS的关系为; 2.像散; 为像散引起的最大焦距差。透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各向磁导率差异引起。像散可由附加的消像散器来校正。; 3.色差;引起电子束能量变化的主要有两个原因： ;4.球差系数和色差系数 ;电磁透镜的分辨率主要由衍射效应和像差来决定。 1. 衍射效应对分辨率的影响 ???????? ? (8-12) ???????????????? 2.像差对分辨的影响 球差： 像散： 用消像散器 色差： ? 稳定电源 　;1.衍射效应对分辨率的影响;式中，λ - 光的波长 ??????????? N- 折射系数 ???????????α - 孔径半角 ??????????? N sina - 数值孔径;对玻璃透镜，取最大孔径半角α = 70-75°，若样品放在介质为油的情况下，N≈1.5，则其数值孔径N sina ≈1.25-1.35，上式可简化为;2.像差对分辨率的影响;考虑到像差及衍射效应对分辨率的影响，依据上式可知：提高电磁透镜分辨率的主要途径是减小电子束波长? (提高加速电压)和减小球差系数。;第三节 电磁透镜的景深和焦长;景深;焦长;如 弧度，M=200时,Df 大约是 8mm，这就是说，该透镜实际像平面在理想像平面上或下各4mm范围内移动时不需改变透镜的聚焦状态，图像仍是清晰的。