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电子特气基础知识 ; 第一章：电子特种气体基础知识;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;;Chapter 1:ESG Basic Knowledge; Chapter 1:ESG Basic Knowledge; Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;氧化性气体：
定义:
能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
例如:
Oxygen O2
Fluorine F2
Chlorine CL2
Nitrous Oxide( Unstable) NOX
Nitrogen Oxide NO
Chlorine Trifluoride CLF3
Nitrogen Trifluoride NF3
控制方法：
尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 )
对氟气应用系统进行金属钝化
远离有机物质，尽管有些有机物在空气中不燃烧．;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;Chapter 1:ESG Basic Knowledge;硅烷概述
无色
自燃（可燃范围：1.4~96%）
迅速的释放不会自燃，形成爆炸性混合气
令人恶心的气味
毒性（ＴＬＶ：５ＰＰＭ；LC50：9600ppm/4小时 ）
毒物学性质难以确定；
刺激眼睛；
头晕、恶心；
刺激呼吸道，咳嗽。
;Chapter 2:硅烷Silane;Chapter 2:硅烷Silane;Chapter 2:硅烷Silane;Chapter 2:硅烷Silane;Chapter 3:三氟化氮ＮＦ３;Chapter 4: ＰＨ３磷烷 ;Chapter ５:三甲基硼Ｂ（ＣＨ３）３;Chapter ６：甲烷和氢气ＣＨ４＆Ｈ２;Chapter ７: 事故简介; 谢 谢 ;此课件下载可自行编辑修改，供参考！
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