半导体名词解释.pdfVIP

四川洪芯微科技有限公司 1) Acetone 丙酮 丙酮是有机溶剂的一种，分子式为CH COCH 3 3 性质：无色，具剌激性薄荷臭味的液体 用途：在FAB 内的用途，主要在于黄光室内正光阻的清洗、擦拭 毒性：对神经中枢具中度麻醉性，对皮肤粘膜具轻微毒性，长期接触会引起皮肤炎，吸入过 量的丙酮蒸气会刺激鼻、眼结膜、咽喉粘膜、甚至引起头痛、恶心、呕吐、目眩、意 识不明等。 允许浓度：1000ppm 2) Active Area 主动区域 MOS核心区域，即源，汲，闸极区域 3) AEI蚀刻后检查 （1）AEI 即After Etching Inspection，在蚀刻制程光阻去除前和光阻去除后，分别对产品实施 主检或抽样检查。 （2 ） AEI 的目的有四： 提高产品良率，避免不良品外流。 达到品质的一致性和制程的重复性。 显示制程能力的指标。 防止异常