半导体名词解释.docxVIP

四川洪芯微科技有限公司 1) Acetone 丙酮 丙酮是有机溶剂的一种，分子式为 CH COCH 3 3 性质：无色，具剌激性薄荷臭味的液体 用途：在 FAB 内的用途，主要在于黄光室内正光阻的清洗、擦拭 毒性：对神经中枢具中度麻醉性，对皮肤粘膜具轻微毒性，长期接触会引起皮肤炎，吸入过 量的丙酮蒸气会刺激鼻、眼结膜、咽喉粘膜、甚至引起头痛、恶心、呕吐、目眩、意 识不明等。 允许浓度：1000ppm 2) Active Area 主动区域 MOS核心区域，即源，汲，闸极区域 3) AEI蚀刻后检查 （1） AEI 即 After Etching Inspection，在蚀刻制程光阻去除前和光阻去除后，分别对产品实施 主检或抽样检查。 （2） AEI 的目的有四： 提高产品良率，避免不良品外流。 达到品质的一致性和制程的重复性。 显示制程能力的指标。 防止异常扩大，节省成本 （3） 通常AEI检查出来的不良品，非必要时很少做修改。因为除去氧化层或重长氧化层可能造 成组件特性改变可靠性变差、缺点密度增加。生产成本增高，以及良率降低的缺点。 4）Al-Cu-Si 铝硅铜 金属溅镀时所使用的原料名称，通常是称为 Target，其成份为 0.5%铜，1%硅及 98.5%铝，一 般制程通常是使用 99%铝 1%硅．后来为了金属电荷迁移现象(Electromigration) 故渗加 0.5%