WXT系列中文手册.pdfVIP

瑟米莱伯（贸易）上海有限公司 上海市浦东新区商城路 889 号波特营 B2 幢 3 层 Tel: +86-21 Fax: +86-21 WXT 系列 中 文 手 册 瑟 米 莱 伯 贸 易 （ 上 海 ） 有 限 公 司 上 海 市 浦 东 新 区 商 城 路 8 8 9 号 波 特 营 B2 幢 3 层 phone +86-21-fax +86-21 e-mail semilab@ web WMT系列是 Semilab 公司一种在线式测试模组，广泛应用于光伏和半导体行业硅片的质量 控制，电池工艺过程质量控制，以及实验室和试验线的研发，提供了无接触、无损伤的全自动 连续测试和快速的数据处理。 本文档主要对 WMT 的测试原理和操作流程加以介绍。 如有问题请与我们联系，竭诚为您服务。 瑟米莱伯（贸易）上海有限公司 地址：上海市浦东新区商城路 889 号波特营 B2 幢 3 层 电话 : +86-21 传真 : +86-21 网站： 瑟米莱伯公司北京办事处 地址：北京市朝阳区东三环北路甲 19 号 SOHO 嘉盛中心 1808 室 电话 : +86-10 传真 : +86-10 瑟米莱伯公司无锡售后服务中心 电话 : +86 瑟 米 莱 伯 贸 易 （ 上 海 ） 有 限 公 司 上 海 市 浦 东 新 区 商 城 路 8 8 9 号 波 特 营 B2 幢 3 层 phone +86-21-fax +86-21 e-mail semilab@ web 1. 简介 WMT 系列是 Semilab 公司无接触硅片电阻率 （涡流法）、厚度 （电容法）和 P/N 型号 （表 面光电压法）连续在线测试模组。 WMT 提供 1 ‐3 点连续测试，并可以根据需要自动分类，模 组测试速度快、精度高且重复性好。广泛应用于硅片厂商的出厂检验、自动分选以及电池厂商 的来料质量控制。 2. 原理 2.1 涡流法电阻率测试原理 W afe r 图 2-1 涡流法测试电阻率过程示意图如图 2-1 所示。样品放置在对中的传感元件或换能器之中， 换能器为施加高频磁场的高磁导率的磁体。硅在高频磁场中产生感生电流，此电流的流通方向 呈闭合漩涡状，称涡电流或涡流。样品中的涡流消耗能量，为保持高频振荡器的电压不变，高 频电流将增加。样品电阻越低，高频电流的增量越大，呈反比。测量电流值，可以获得样品的 方块电阻或电阻率。 2.2 电容法厚度测试原理 电容法厚度测量的基本原理就是平板电容器的电容计算公式：对于由两个平行导体平板组 成的、中间是空气的电容器，其电容与平板的面积成正比，与两平板间的间距成反比。在测量 硅片的厚度时，硅片与测试电极构成一个电容器