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PAGE 1 公司车间洁净室监测表 区域 内容 30万级洁净区 发生偏差采取措施 温 湿 度 监测方法 温度计、湿度计。如连续记录时，取高低平均值 增大制冷量 增大除湿能力 标 准 温度18～26℃，相对湿度45～65%（特殊情况另定） 测定位置 室 内 测定频次 1次/班 风量和风速 监测方法 风速计划内 增大或减少进风阀门 更换高效过滤器 标 准 风口实测风量与设计风量之差在设计风量的±15%之内 测定位置 室内进风口 测定频次 1次/月 空气压力 监测方法 微差压计 调整风量的分配及增大风量 标 准 ≥5pa 测定位置 室内及室外 测定方法 1次/月 尘埃粒子 监测方法 Y09-4尘埃粒子计数器 重新清洁环境卫生 增加自静时间 更换高效过滤器 标 准 (≥5μm粒子数) (≥0.5μm粒子数) 个/m3 ≤20000 ≤3500000 测定位置 关键操作点 测定频次 1次/季 沉降菌 监测方法 见SOP 用消毒水清洁环境卫生 用甲醛重新大消毒 更换高效过滤器 标 准 平均≤10 测定位置 关键操作点 测定频次 1-2次/月