SEM和EDS的现代分析测试方法.ppt

材料的现代分析测试方法;材料的现代分析测试方法第一章 扫描电子显微镜(SEM)第一节 概述;第二节　电子束与固体样品　　　　相互作用;;五．特征Ｘ射线 六．俄歇电子 七．阴极荧光 八．电子束感生电效应 　１．电子束感生电导信号 　２．电子束感生电压信号 ;;;第四节 SEM的构造;一. 电子光学系统;1. 电子枪 2. 聚光镜(电磁透镜) 3. 光阑 4. 样品室;;几种类型电子枪性能;二. 扫描系统;三. 信号检测放大系统;检测器类型;四. 图象显示和记录系统;五. 电源系统;六. ??空系统; 第五节 SEM的主要性能一. 分辨率 ;漫散射;二. 放大倍数;SEM中透镜的作用：;三. 景深;第六节 SEM的样品制备;一. 导电材料试样制备;观察表面，特别是各种断口间 隙处存在污物时，要用无水乙 醇、丙酮或超声波清洗法清理 干净。 4. 故障构件断口或电器触点处存 在的氧化层及腐蚀产物，不要 轻易清除。 ;二. 非金属材料试样制备;三. 生物医学材料试样制备;第七节 SEM的应用;一. 在金属材料方面的应用;第二章 电子探针显微分析仪(EPMA)第一节 概述;第二节 特征X射线检测;莫塞莱定律：; 波谱仪组成 检测系统 放大系统 信号处理系统 显象系统等;波长分散法原理图;波长色散X射线谱仪示意图;二. 能谱法(EDS);2. 能谱仪组成 检测系统 信号放大系统 数据处理系统 显示系统;X射线能谱仪的基本组成;三. 波谱仪与能谱仪比较;三. 波谱仪与能谱仪比较