扫描电子显微镜 SEM 和能谱分析技术 EDS.pptVIP

扫描电子显微镜和能谱分析技术 (Scanning Electron Microscopy /Energy Dispersive Spectrometer) （SEM/EDS） 安泰科技研发中心 郭金花 ;主 要 内 容;1 扫描电镜的作用：;2 扫描电镜的工作原理; 样品表面激发的电子信号;二次电子、背散射电子和特征X射线;背反射电子：产生范围在100nm-1μm深度 能量较高，小于和等于入射电子能量E0;3扫描电镜的主要构造;收集二次电子时，为了提高收集有效立体角，常在收集器前端栅网上加上+250V偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器。这样就提高了收集效率。 收集背散射电子时，背散射电子仍沿出射直线方向运动，收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。;4 扫描电镜对样品的作用－－ 加速电压、电子束与样品之间的关系; 4 扫描电镜对样品的作用－－ 二次电子与背散射电子之间的区别; 二次电子图像 VS.;4 扫描电镜对样品的作用－－ 物镜光栏、工作距离与样品之间的关系;工作距离的影响;5 能谱仪（EDS）的工作原理;6 能谱仪（EDS）的结构;优点1）快速并且可以同时探测不同能量的X-光能谱2）接受信号的角度大。3）仪器设计较为简单4）操作简单;8 仪器功能介绍及应用 ;SEM/EDS的主要性能指标 ;JEOL-6380/SEM的工作界面;颗粒;薄膜及涂层材料;昆 虫;; Element;EDAX-EDS的工作界面---区域分析;Element;EDAX-EDS的工作界面---面扫描;面扫描实例-Cu网;线扫描实例-Cu网;9 电镜样品的制备 ;(3)粉末样品的制备： 导电胶－－粘牢粉末－－吸耳球－－观察 悬浮液－－滴在样品座上－－溶液挥发－－观察 (4)不导电样品： 通常对不导电样品进行喷金、喷碳处理或使用导电胶 形貌观察：喷金处理 成分分析：喷碳处理  ;a 显露出所欲分析的位置b 不得有松懈的粉末或碎屑c 需耐热，不得有熔融蒸发的现象d不能含有液状或胶状物质，以免挥发e非导体表面需镀金或镀碳f 磁性材料会影响聚焦，成像效果不好; 谢 谢 ! ;35