低温超导部件氦质谱检漏记录表.pdf

低温超导部件氦质谱检漏记录表 低温超导部件名称： 编号或标记： 日期: 正 被检件内加压力 检漏口真空度 仪器本底输出信号 检漏仪器输出信号 ( ? 3 ) ( ? 3 ) 压 吸 (M Pa) (Pa) Pa m /s Pa m /s 枪 检 漏 结 论 被检件内加压力 真空系统真空度 仪器本底输出信号 检漏仪器输出信号 正 ( ? ) ( ? 3 ) (M Pa) (Pa) Pa m/s Pa m /s 压 真 空 检 漏 结 论 检漏口真空度 待检件真空度 仪器本底输出信号 检漏仪器输出信号 负 ( ? 3 ) (Pa) (Pa) (Pa ? m/s ) Pa m /s 压 真 空 检 漏 结 人漏检 部件设计人 部件设计人验收签名后交质管办。 质管办签收人 : 日期并加盖公章 :