【材料课件】07电子光学基础.pptxVIP

第七章 电子光学基础;引言 电镜的发展历史;7.1 电子波与电磁透镜;光学显微镜的局限性;;; ;;;电子的波长 ; ;即若被150伏的电压加速的电子，波长为 1 埃。若加速电压很高，就应进行相对论修正。（参考教材 P109 表7-1）; 1. 电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 ;2. 磁透镜和静电透镜相比有如下的优点;3. 磁透镜结构剖面图;4. 磁透镜使电子会聚的原理;;电子在磁场中要受到磁场作用力：;; 有极靴的透镜极靴使得磁场被聚焦在极靴上下的间隔h内，h可以小到1mm左右。在此小的区域内，场的径向分量是很大的。计算透镜焦距f的近似公式为:;;;7.2 电子透镜的象差与分辨本领 电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨距离，对电镜分辨本领起作用的象差有几何象差（球差、象散等）和色差。 几何象差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的； 色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 ; 球 差;;象散 磁场不对称时，就出现象散。有的方向电子束的折射比别的方向强，如图1-5（b）所示，在A平面运行的电子束聚焦在PA点，而在B平面运行的电子聚焦在PB点，依次类推。这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半径为 还原到物平面 为象散引起的最大焦距差； 透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各向磁导率差异引起。象散可由附加磁场的电磁消象散器来校正。;;色差 色差是由于电子的能量不同、从而波长不一造成的，电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为 是透镜的色差系数，大致等于其焦距； 是电子能量的变化率。;;; 在电子透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它象差，可以通过一些方法消除;理论分辨距离;;相对应的最佳光阑直径 式中的f 为透镜的焦距。将 代入（1-15??可得 目前，通用的较精确的理论分辨公式和最佳孔径角公式为 将各类电镜缺陷的影响减至最小，电子透镜的分辨本领比光学透镜提高了一千倍左右。 ;1.3 电磁透镜的景深和焦长; 景深的关系可以从图1-6推导出来。在 的条件下，景深 如 弧度时，Df 大约是 200～2000nm，这就是说，厚度小于2000 nm的试样，其间所有细节都可调焦成象。由于电子透镜景深大，电子透镜广泛应用在断口观察上。 ;α;图1-7是焦长的示意图。由图可以看出， 由于 所以 这里的M是总放大倍数。可见，焦长是很大的。例如， ， 时，DL＝80cm。因此，当用倾斜观察屏观察象时，以及当照相底片不位于观察屏同一象平面时，所拍照的象依然是清晰的。;