ZSN法高纯硅烷气产业化进程与应用前景.docx

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2021-10-17 发布于河北
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摘要高纯度硅烷气是电子化工材料、光电子、微电子产业的重要支撑材料之一。2014年9月，中国平煤神马集团与上海交通大学等单位合作，研发出拥有完全自主知识产权的成套工业化硅烷气生产技术，结束了国外技术垄断和国内产品全部依靠进口的历史。介绍了ZSN法高纯硅烷生产工艺流程和优势，分析了战略合作、技术研发、规模化生产及全面占领市场背后的多重助推力量。预判了硅烷这一高端新兴产业的前景。关键词?高纯度硅烷气 ZSN法横向合作混合所有制产业化进程硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和一些更高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷,一般把甲硅烷简称