薄膜与测试技术.pdfVIP

薄膜与表面分析技术介绍 【摘要 】固体的表面状态 ，对于材料的性能，有着极其重要的影响。 因此要求从微 观 的，甚至是原子和分子的尺度去 认识 表面 现 象。鉴于 此种重要运用，本文将介 绍电 子探 针显 微分析、 AES 、XPS、SIMS 、 SNMS、ISS、卢瑟福反向散射光 谱 法等七种常用技 术 的原理。并了解 这些表面分析技 术在薄膜材料中的 应用，以便更好地从事技 术工作。 【关键词 】表面分析技术 电子探 针 能谱分析 目录 1 绪论 2 表面分析技 术 2.1 俄歇 电子能 谱分析（AES ） 2.1.1 方法原理 2.1.2 俄歇 谱仪 2.2 X 射线光 电子光 谱法（XPS ） 2.2.1 基本原理 2.2.2 电子能 谱法的特点 2.2.3 仪器组成 2.3 次级离子 质谱 法（SIMS ）