电容式传感器原理和应用.pptxVIP

; 概述(ɡài shù);4.1 电容式传感器的工作原理(yuánlǐ)和结构;4.1电容式传感器的工作(gōngzuò)原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理(yuánlǐ)和结构;4.1电容式传感器的工作(gōngzuò)原理和结构;4.1电容式传感器的工作原理(yuánlǐ)和结构;为防止击穿或短路,极板间可采用高介电常数的材料（云母?塑料膜等）作介质。云母片的相对介电常数是空气的7倍,其击穿电压不小于1000 kV/mm,而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片,极板间起始(qǐ shǐ)距离可大大减小。同时传感器的输出特性的线性度得到改善。 一般变极距型电容式传感器的起始(qǐ shǐ)电容在20~ 30 pF之间,极板间距离在25~200μm的范围内,最大位移应小于间距的1/10,故在微位移测量中应用最广。;4.1.2 变面积型电容式传感器 上图是变面积型电容传感器原理结构示意图。被测量通过动极板移动引起两极(liǎngjí)板有效覆盖面积S改变,从而改变电容量。;4.1电容式传感器的工作原理(yuánlǐ)和结构;4.1电容式传感器的工作原理(yuánlǐ)和结构;4.1电容式传感器的工作原理(yuánlǐ)和结构;4.1电容式传感器的工作原理(yuánlǐ)和结构;4.1电容式传感器的工作原理(yuánlǐ)和结构;4.1电容式传感器的工作(gōng