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XPS原始数据处理（含分峰拟合） 1. XPS 高分辨谱可以拿到什么数据？ 一般而言，大家在做高分辨谱的时候， 是期望看到表面某些元素的电子结构信息， 判断该元素的化学态以及所处的化学环境等等，进而说明样品的表面结构或其变化。 故此， XPS的高分辨一定是有针对性的，所要测的元素也是大家很明了的。 在上一期我们说过， 对于绝缘体或者半导体而言， 具有荷电效应， 因此除了大家 想要测的元素之外，一般测试的时候还需要测一个 C 的高分辨谱 ，用于荷电校正。