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光学反射膜的设计与制备光学(DOC) 光学反射膜的设计与制备光学(DOC) PAGE / NUMPAGES 光学反射膜的设计与制备光学(DOC) 光学器件减反射膜的设计与制备 摘 要 光学薄膜作为现代光学的一个重要分支，已被广泛应用于工业、农业等各个领域，其 在人们的日常生活中起着越来越重要的作用。 减反射膜作为光学膜中最重要的一种， 它的发 展也得到了更广泛的关注。 本文主要通过对光学薄膜特性的理论计算，包括薄膜的基本理论，单层薄膜的特性计 算和多层薄膜的特性计算， 来对光学薄膜的特性达到一定程度的认识。 并通过对光学减反射 膜的设计原理、 选材及流程的掌握来对减反射膜有一个更深的了解。 最终利用直流反应溅射 法制备 TiO 2 薄膜，摸索其制备工艺。利用透射光谱，采用“包络法”计算薄膜的折射率、厚度、吸收系数和消光系数，从而分析薄膜的光学性能。 【关键词】光学薄膜 光学减反射膜 磁控溅射原理 TiO2 薄膜 1 The design and preparation of the anti-reflection coating on optical device Abstract optical films which act as an important branch of modern optics has been widely used in agricul