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全板电镀流程 操作手册 2008年3月 目录 TOC \o 1-5 \h \z 柏宇专利化学品名称与储存要求 3 2．全板电镀线配槽步骤 4 新配槽的清洁处理方法 4 配槽简表 4 配槽步骤 5 全板电镀线设备要求 5 药液生产控制范围 6 药液补充量及槽液寿命 6 生产线保养事项 6 定期保养 6 碳处理和阳极铜球处理 8 药品分析方法 9 工艺问题处理简表 11 基本化学药品名称和规 16 产品说明书 16 1 ?基本化学药品名称及规格 1. 1所需基本化学药品规格 2.2.1硫酸（化学纯） HSQ浓度 98师量比 密度g/cm3 1.835 - 1.945 氯 max. 0.5 ppm 铁 max. 5.0 ppm 222盐酸（化学纯） 含有HCI 37.5% 密度g/cm3 1.16 - 1.20 重金属 max. 1 ppm 2.2.3硫酸铜（化学纯） CuSQ5H2 Q 成份 min. 98%重量比 氯 max. 0.02%重量比 1.2含磷铜阳极规格 含磷铜阳极 Cu 99.9%,不含 CuO P 0.04 - 0.06% Pb max. 0.001% Bi max. 0.002% AS max. 0.003% Sb max. 0.003% Sn max. 0.003% Zn max. 0.001% Fe max. 0.003% Ni max. 0.008% Se max. 0.001% S max. 0.01% 全板电镀线配槽步骤 新药槽的清洁处理方法 2.1.1药槽和有关设备的清洁方法 .用5% NaOH溶液浸缸，同时开启过滤泵/循环泵4 - 8小时后排放碱。 .再用清水冲洗用2%(v/v)硫酸溶液浸缸及同时开启过滤泵/循环泵4 - 8小时 .排放硫酸液，然后用清水冲洗 2.1.2过滤芯及阳极袋的清洁方法 .用2% (w/w) NaOH溶液浸泡4小时，然后用清水冲洗。 .再用2 % (v/v)硫酸溶液泡4小时，然后用清水冲洗。 2.1.3铜球的清洁方法 .用2%硫酸(v/v)和5%(v/v)双氧水(35%)混合溶液用作微蚀处理铜球表面。 .再用清水冲洗，并放入1%(v/v)硫酸溶液中储存备用。 2.1.4阳极钛篮的清洁和电解处理 .用2 - 5%(v/v) NaOH 溶液浸泡4 - 8小时，然后用清水冲洗。 .再用2%(v/v)硫酸溶液浸泡4小时。 .把钛篮放入注满10%硫酸的镀铜槽中的阳极位置。 .在阴极挂上不锈钢板。 .用6 - 8V电压，稳压电解处理钛篮约一小时。 .用去离子水彻底冲洗。 2.1.5锡球的清洁方法 .用4%(v/v)硫酸溶液浸泡4 - 8小时。 .然后用清水冲洗，并放于1%(v/v)硫酸溶液中储存使用。 2.2配槽简表 药品 配槽浓度 100 L配槽用量 纵横比 7:1 纵横比 3:1-7:1 纵横比 3:1 纵横比 7:1 纵横比 3:1-7:1 纵横比 3:1 硫酸铜 硫酸(98%) 氯离子 酸铜添加剂 1301M 45 g/L 165 ml/L 75 ppm 4 ml/L 60 g/L 145 ml/L 75 ppm 4 ml/L 75 g/L 125 ml/L 75 ppm 4 ml/L 4.5kg 16.5 L 分析添加 400 ml 6.0 kg 14.5 L 分析添加 400 ml kg L 分析添加 400 ml  2.3配槽步骤 工序 配槽步骤 酸性镀铜 a. 注入去离子水进入镀槽内至1/2水位。 b. 开动空气搅拌，加入适量的硫酸铜， c. 小心慢慢地加入适量的化学纯硫酸，切勿使用工业级硫酸。在加 入步骤中会产生大量热力，可帮助硫酸铜溶解。 d. 如有需要，可以作碳处理（详情可参考9.2部份）。 e. 加入去离子水至水位及搅拌均匀，先作定量分析，包括铜离子、 硫酸和氯离子浓度，调校氯离子至约 75 ppm。 f. 待溶液冷却至约259左右可准备使用。 g. 用拖缸板先以10 ASF拖缸1小时，然后15ASF拖缸2小时, 最 后用20ASF拖缸最少约2安培小时/升,使阳极表面产生阳极黑 膜。 h. i. 再加入4ml/L酸铜添加剂1301M. 当一层黑色的阳极薄膜产生（约2安培小时/升），分析槽液， 用Hull槽实验确定光剂是否合适后，便可以进行电镀生产。 采 3.全板电镀线设备要求 工序 加热/冷却器 过滤器 打气 /Eductor 酸浸 不需要 不需要 酸性镀铜 发热器及冷却器 需要（5-10 Am PP棉芯） 需要 褪镀 冷却管- 不需要 不需要 摇摆幅度=25-50 mm 摇摆频率=10-15 cycle/ min 4.药液生产控制范围 工序 温度控制 药液 成份 控制 范围 建议值 分析 频率 范围 建议值 酸性镀铜