扫描电镜在材料表面形貌观察及成分分析中的应用.docVIP

仅供个人参考 仅供个人参考 不得用于商业用途 不得用于商业用途 扫描电镜在材料表面形貌观察及成分分析中的应用 一、 实验目的 1） 了解扫描电镜的基本结构和工作原理，掌握扫描电镜的功能和用途； 2） 了解能谱仪的基本结构、原理和用途； 3） 了解扫描电镜对样品的要求以及如何制备样品。 二、 实验原理 （一）扫描电镜的工作原理和结构 1.扫描电镜的工作原理 扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的入 射电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性 与非弹性碰撞，一些电子被反射出样品表面，而其余的电子则渗入样品中，逐渐 失去其动能，最后停止运动，并被