晶圆制造工艺流程教学提纲.pdfVIP

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2021-11-04 发布于河北
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晶圆制造工艺流程教学提纲.pdf

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晶圆制造工艺流程 1、表面清洗 2 、初次氧化 3 、 CVD(Chemical Vapor deposition) 法沉积一层 Si3N4 (Hot CVD 或 LPCVD) 。（1）常压 CVD (Normal Pressure CVD) （2 ）低压 CVD (Low Pressure CVD) （3 ）热 CVD (Hot CVD)/(thermal CVD) （4 ）电浆增强 CVD (Plasma Enhanced CVD) （5 ）MOCVD (Metal Organic CVD) 分子磊晶成长 (Molec