三星QCC改善报告.pptVIP

1、设备能力对应 2、现场生产对应 FVSS 2-4-2 FVSS 3-2-3 SAMSUNG 层构成 线幅/线间（μm） 75/75 60/60 50/50 CCL（t） 0.15 0.1 0.06 不良率（欠损） AOI 全层 0.2% 0.5% 1.2% 线幅Cpk 2.45 0.8 层别 铜厚 Cpk H90 22 0.66 H99 22 0.68 2010年随着FVSS 3-2-3产品仕样及samsung的导入，线幅工程能力不足的问题发生， 我们需要通过调整设备能力达到产品规格要求。 1.1 现状背景 1.2 设备改造 项目 现状设备能力 新规产品要求 板厚 0.1t 0.06t 线幅/线隙 75/75um以上 50/50um以上 药液洗 酸洗 弱蚀刻液 铜厚 12um 22um 蚀刻线能力/机能盘点 为IBI 服务了15年，我们精心守护10年的线体，已无法满足现有产品要求！ 旧蚀刻线 改造后真空蚀刻线 新蚀刻线能力 项目 新规产品要求 结论 面均型 小于1 σ=0.78 OK 线幅/线隙 50/50um以上 层别 铜厚 Cpk H90 22 1.77 H99 22 1.93 设备技术、制造技术、制造、保全等部门通力协作，将两条新蚀刻线安装/调试/量产完成！ 1.3 samsung 50/50线幅总结 关键点 中心值 幅度 测量点数 Cpk C（横向） 50 +/-15 18 2.67 D（纵向） 50 +/-15 18 1.88 E （横向） 50 +/-15 18 2.72 F （纵向） 50 +/-15 18 1.93 6lot SAMSUNG产品数据 H90 H99 C D E F 关键线幅Cpk 1.88以上！ 2.1 不良再定义 不良模式再定义发现： 同样大小的异物， 75/75 OK —〉 50/50 断线NG 重新确认良品条件/新的异物发生源 必要！ 迫在眉睫！ 线隙75um 线宽75um 150um 线隙50um 线宽50um 60um 原产品 新规品 OK NG 露光机 2台 13年；2台8年。 老旧！ 2.2 50/50产品良品条件查找 工段 100%良品条件 （新增） 现状 改善对策 担当 纳期 前处理 基板边缘无铜粉 基板边缘有铜粉 端面研磨机 张 3-20 干燥仓清洁 1#干燥仓异物多发 降低温度至80，更换滚轮材料 张 4-20 水洗槽无异物 有微生物类异物 管道清洗剂清洗 1回/M 李/乔 3-20 贴膜 无贴附不良 贴附不良多发 更换干膜/再生程序修订 李/乔 4-20 贴膜前产品无异物 粘尘机粘尘效果不佳 更换备件/设备机能恢复 李/于 5-5 露光 露光前产品无异物 粘尘机粘尘效果不佳 更换备件/设备机能恢复 李/于 5-5 露光机无异物 有异物发生 三段清扫标准制定 王 4-4 干板无异物 干板周边及干板架异物多发 清扫方法及频度制定 王 4-4 干板/干板框更换频度 无更换频度 制定更换频度 王/乔 确认中 蚀刻 去膜后产品不变形 将产品搓坏 维修并更换 王/刘 4-4 干膜无划伤 设备边角有划伤风险 添加防划海绵 郭 3-20 蚀刻前产品无异物 积水滚轮/蚀刻1仓滚轮脏污 定期清扫 郭 3-20 剥膜无残留 产品存有干膜残留 发生源确认 乔 确认中 2.3 异物新发生源再查找 异物状态 不良状态 发生源 异物 大小 形成原理 对策 责任人 重要度 20-30um 1: 摩擦产生 2: 异物清扫不便 积累 1 清扫频度2回/天 2 涂抹黄油运行后擦除 3 设立点检表 组长 ★★★★ 30um 1: 空气带入 2: 基板带入 3: 管道异物 4: 异物积累 1 拆开清扫1回/2月 2 表面清扫1回/段替 班长 ★★★ 10-40um 1: 空气带入 2: 管道老化 3: 异物积累 1 拆开清扫1回/2月 2 更换1回/6月 班长 ★★★ 30-50um 1: 摩擦产生 2: 异物积累 1 清扫频度1回/段替 操作员 ★★★★★ 伸缩机异物 翻板机异物 气路管道异物 卡扣异物 编号 问题点 改善方法 改善前 改善后 1 油漆异物掉落 张贴粘尘纸 2 隐蔽部位异物清扫困难 添加气枪，将异物吹出 3 走形板卡扣产生大量异物 定期清扫 2.4 现场不具合改善 全员参与为生产50/50线幅查找的不具合项目 原有程序书：以文字描述为主 更改后程序书：图片说明，并将点检部位、点检原因、点检方法、点检频度、管理者检查频度等信息详细说明 3 可持续的管理 标准文件修订 原程序书 新程序书 标准文件修改已经完成46份。 4 Samsung 冠军lot流动结果 结论： 1、产品流动，不断的改善；欠损不良降低 但仍然较高。 2、不良目标0.2%