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真空高温烧结炉 说明书 前言 TOC \o 1-5 \h \z \o Current Document 2设备的工作原理 4 \o Current Document 3技术指标 4 \o Current Document 4设备构成 5 \o Current Document 炉体总成 5 保温套 5 感应圈总成 6 \o Current Document 集电装置 6 \o Current Document 真空系统 6 \o Current Document 水冷系统 6 \o Current Document 电控系统 6 辅助系统 错误！未定义书签。 \o Current Document 5安装调试 7 \o Current Document 6使用操作 7 \o Current Document 真空操作 7 \o Current Document 加热升温操作 7 \o Current Document 水路系统操作 8 \o Current Document 充气系统操作 8 \o Current Document 破真空操作 8 \o Current Document 炉盖升降操作 8 \o Current Document 7注意事项 8 \o Current Document 8设备的保养 9 / 、八一 1刖§ 在使用本设备前，要充分阅读本说明书的各项要求及注意事项，熟悉设备的性 能、功能及使用要求 高温烧结炉是在真空或特定气氛条件下进行高温烧结的设 备，能够满足特定的工艺需求，适用科研单位或生产单位使用。 设备具有结构紧凑、操作简单、易于维护等特点。 2设备的工作原理 本高温烧结炉的加热方式采用石墨电阻加热，在 真空或特定气氛条件下利用石 墨电阻发热，对 物料进行加热来达到工 艺要求。 3技术指标 极限真空度：6. 6 X10-4 Pa ； 系统漏率：停泵关机后残余气体压力w 0. 66Pa/h ； 工作区尺寸：立式加热区？ 280 X450mm (H) 均温区尺寸：？ 180 X220mm (H) 工作区温度：最高加热温度2200 C； 工作区加热温度速率范围：w 35 C/Min ； 4设备构成 设备构成包括：炉体总成、保温套、石墨发热体、集电装置、真空系统、水冷系 统、变压器、电控系统及充气等辅助设备组成。 炉体总成 炉体采用圆形上开盖结构，炉体材质采用内、外层不锈钢（304 ）结构。炉 盖上设有视察；炉体侧面设有真空管道、充气阀、排气阀、进电法兰等接口，炉体底 部留有安装等用的法兰接口。 测温采用鸨铢热偶作为测温热偶，热偶通过气缸推进，温度低于1000 C时采 用鸽铢测温，高于1000 C气缸退出，红外测温显示温度。 石墨发热体 保温套侧面由三层石墨碳毡围成筒形，碳毡外有2层硅酸铝纤维 毡，外面有 不锈钢壳组成。底面由多层石墨碳毡，碳毡上面用石墨板 做支撑组成，整体放在炉腔 内能完成保温功能。 石墨发热体 石墨发热体放在保温层内，它是右12根石墨棒通过上下石墨圈组合而成，石 墨棒下端通过三根石墨电极引入三相电。通过低电压大 电流使石墨发热。 集电装置 集电装置由法兰板、进电铜管、铜排及附属零部件组成，其作用主要满足将变压 器与石墨发热体连接在一起完成电和水的供给。 真空系统 真空系统由KT-400扩散泵、2X-70旋片泵和相应的真空阀门、管道组成。 主要满足炉腔所需的真空度要求。且管路各段设置必要的检漏接口。 水冷系统 水冷系统由水排、各分水路、阀门、压力表等组成。 电控系统 控制方式：具备自动和手动控制功能。自动控温仪表，可设定多条升降温曲线。 采用日本岛电公司FP93温控器进行程序加热控温，可编写12组工艺曲线，每级 工艺曲线包括20段工序；采用进口红 外测温仪进行测温和鸨铢热偶测温。 5安装调试 安装调试前先按设备的总图、地基图、水电气系统图正确恢复安装。 连接好内部和外部供给的水、电、气。 进一步核对确认各个部位的连接关系及正确性。 设备使用前各个控制开关均处在关闭或指定的位置，启动供水供电供气系统，保 证设备的水电气供给。 6使用操作 设备此时满足安装调试后的待工作条件。 真空操作 先关闭放气、充气阀、盖上炉盖、关闭所有的真空阀门，启动机 械泵并开启对应 的阀门，对炉体进行抽真空，当真空度达到小于等于lOPa时开启扩散泵，直至炉 腔内真空度满足要求为止。 加热升温操作 中频电源通电前检查水路是否正常，先将电源功率调节旋钮旋至 最小，做合主 控开关、启动控制电源等准备工作，按启动电源按钮启 动电源，通过调节功率调节旋钮改变输出功率的大小来控制炉内温度 满足手动升温要 求；另外将电源控制打到自动控制工位，通过温