LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置的制作方法.docxVIP

PAGE PAGE 1 LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置的制作方法 led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置技术领域1.本有用新型涉及晶片加工技术领域，具体涉及led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置。背景技术：2.目前蓝宝石材料主要应用于led和各种消费电子，其中蓝宝石在led方面主要用作衬底材料，占比达到97％。据相关数据显示，在2013年led应用占蓝宝石材料总需求的78％，随着led照明行业的进展，蓝宝石在led应用的市场将进一步得到释放。随着技术的不断创新，蓝宝石将会广泛应用于手机等消费电子上。由此可知，将来蓝宝石材料商机无限，现有技术中，蓝宝石晶片衬底在加工过程的最终一步需要对抛光后的晶片衬底进行清洗，防止晶片衬底上有微尘颗粒、金属等杂质。技术实现要素：3.本有用新型的目的在于供应一种具体涉及led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置，解决的晶片衬底清洗效率低的问题。4.为解决上述的技术问题，本有用新型接受以下技术方案：5.led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置，包括机体、清洗入口、除尘仓、清洗仓、烘干仓、仓板、玻璃罩、传送带、挂钩座、拉杆、晶片固定栏、除尘出风口、超声波清洗池、烘干出风口、热风进风管、除尘过滤网a、电阻加热丝、风机a、进风口、清洗出口；机体右端设置有清洗入口；机体内由右至左依次设置有除尘仓、清洗仓和烘干仓；仓室间设