IGBT模块键合线断裂在线监测装置、监测方法和应用与流程.docxVIP

PAGE PAGE 1 IGBT模块键合线断裂在线监测装置、监测方法和应用与流程 igbt模块键合线断裂在线监测装置、监测方法和应用技术领域1.本创造属于半导体器件技术测量领域，具体涉及一种适用于igbt模块键合线断裂的监测装置、方法和应用。背景技术：2.电力电子变换器在电动汽车、风力发电、直流输电等工业界得到了广泛的应用。电力电子变换器长期运行过程中，在故障发生之前识别性能退化的元件，是状态监测的主要目的，对电力电子器件进行状态监测是提升变换器牢靠性的有效手段。绝缘栅双极晶体管(igbt)由于结合了金属?氧化物场效应管的高开关速度以及双极结型晶体管的低导通损耗等特点得到了广泛地应用。在高压大功率的电力电子变换器的场合，例如风电变流器、牵引变流器、高压直流输电等，为提高通流力量，通常用法由多个igbt、二极管芯片并联而成的多芯片并联igbt模块。键合线断裂是igbt模块的主要失效模式，对于多芯片并联的igbt模块，由于芯片数量冗余并不会造成模块的失效。因此，键合线断裂引发的芯片失效成为多芯片并联igbt模块状态监测的前兆失效特征。3.在igbt模块的键合线断裂状态监测方面已开展了较多争辩，从监测量信号看来可分为电气量与非电气量。非电气量监测方法有热脉冲涡流成像、振动位移测量等，需要特殊的测量装置不合适在线监测应用。igbt模块的键合线断裂会