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第一章 绪论
理想的薄膜材料可以被认为是一张覆盖在块状材料上的薄片。实际的薄膜通常附着在基材上。但是基材的组成或结构存在差异,并且它也与本体材料的结构不同。薄膜的性质与厚度密切相关,在材料的表面或界面上从几个到几十个原子。层内的原子结构和电子结构与块内部的原子结构和电子结构完全不同。厚度通常从1纳米到数十微米之间,表面和界面性质在这一系列具有特殊特征的膜中起着重要作用。由于材料之间的相互扩散会出现不稳定性会引起膜太薄,并且这种特性常常取决于基材料材料。如果膜厚度太大,其性能与基底材料没有区别。
薄膜具有以下特点。通过改变原料和引入不同的气体可以实现膜的组成。在薄膜的生长初始阶段往往是一个围绕
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