信息技术导论微电子与传感技术.pptx

第五章 微电子与传感技术微电子技术是信息技术领域中的关键技术，是发展电子信息产业和各项高技术的基础。微电子技术的核心是集成电路技术，计算机、数控机床、机器人、智能手机、家电设备、航空航天、军事装备等无一不使用微电子集成电路技术。因此，微电子技术是传感技术、通信技术、计算机技术发展的重要基础。5.1 微电子技术5.1.1微电子技术及其发展历程第一代：电子管技术第二代：晶体管技术第三代：集成电路第四代：集成电路的规模化发展第五代：微机电集成电路现代高保真音响电子管功放（胆机）不同功率大小的晶体三极管元件规模化发展的集成电路内部结构半导体集成电路内部示意图微机电集成电路的内部结构5.1.2 微电子集成电路的分类及应用模拟集成电路数字集成电路数/模混合集成电路5.1.3 微电子集成电路的封装及外形封装的作用封装的形式封装的材料四种典型的封装外形1.双列直插（DIP）2.四侧引脚扁平QFP3.插针网格阵列PGA4.球形触点陈列BGA IP封装集成电路外形结构QFP封装集成电路外形结构PGA封装集成电路外形结构BGA封装集成电路外形结构5.1.4 微电子集成技术的发展趋势集成电路的集成度代表着微电子集成技术的发展水平，集成度越高，意味着单位芯片面积上所容纳的元件数目越多、加工线宽越小、技术水平越高。年度199920012004200820102014工艺/μm0.180.130.090.0450.0320.014晶体管个数/M23.847.613553910003500时钟频率/GHz1.21.62.02.6553.810面积/mm2340340390468600901连线层数6789910晶圆直径/英寸（1英寸=25.4mm）1212141616185.2 传感器技术5.2.1 传感器概述概念传感器技术的重要性传感器技术的特点和发展趋势目前，传感技术正朝着集成化、微型化、数字化、智能化和仿生化方向发展：（1）使用新技术、新材料的传感器（2）集成传感器（3）智能能传感器5.2.2 传感器的定义和组成1.传感器的定义传感器（Sensor/Transducer），也称为换能器，是一种能感受到物理、化学、生物量信息的电能器件，并将感受到的信息按一定规律变换成电压信号、电流信号、脉冲信号等形式的输出信息，以满足信息的电子化传输、处理、存储、显示、记录和控制等需要。传感器是测量装置，能完成电量或非电量信息检测。输入量是某一种被测量，可能是物理量、化学量、生物量等。输出量是某一种物理量，这种物理量要便于传输、转换、处理、显示等，这种物理量可以是气、光、电，但主要是电量。输入与输出有某种对应关系，且应有一定规律和精确度。2.传感器的组成敏感元件转换原件转换电路辅助电源5.2.3 传感器的作用和分类1.传感器的作用对被测信号产生敏感并能把它转换出来。信号提取的同时能把它转换成所需要的信号（主要是完成非电量到电量的转换）。2.传感器的分类按被测物理量：可分为位移量、力量、运动量、热学量、光学量、气体量等传感器。按工作原理：可分为电阻式、电容式、电感式、压电式、霍尔式、光电式、光栅式、热电式等传感器。按输出信号性质：可分为开关型、数字型和模拟型传感器。开关型输出开和关的信号，数字型输出连续脉冲信号，模拟型输出连续时间正/余弦波形信号。按照能量传递方式：可分为有源传感器与无源传感器两大类。3．传感器的仿生研究（1）光敏传感器——视觉（2）声敏传感器——听觉（3）气敏传感器——嗅觉（4）化学传感器——味觉5.2.4 传感器的静动态特性传感器所测量的物理量基本上可归纳为静态量和动态量两种基本形式。其中：静态量通常为常量或变化缓慢的量，反映出被测量具有静态的特性；动态量通常为周期性变化、瞬态变化或随机变化的量，反映出被测量的动态特性。传感器的输出—输入特性是与其内部结构参数有关的外部特性。一个高精度的传感器必须有良好的静态特性和动态特性，才能完成信号无失真的转换与测量。1．传感器的静态特性及特性参数（1）传感器的静态特性参数① 量程：指在允许误差限范围内被测量值的测量范围。② 灵敏度：指在稳态时输出量的变化量与输入量变化量的比值，即单位输入量引起的输出量大小，这个比值越大，传感器就越灵敏。常用Sn表示灵敏度，其表达式为： 灵敏度计算示意图：③ 线性度：指传感器的校准曲线与选定的拟合直线的偏离程度，又称非线性误差，其表达式为：式中，yFS为传感器的满量程输出值；Δymax为校准曲线与拟合直线的最大偏差。 线性度计算示意图④ 不重复性：指在相同条件下传感器的输入量按同一方向做全量程多次重复测量，输出曲线的不一致程度。多次重复测量的复合度越高，测量的一致性越好。⑤ 迟滞：迟滞现象是传感器正向特性曲线（输入量增大）和反向特性曲线（输入量减小）的不一致程度。即由小到大的测量